판매용 중고 GT SOLAR 1001057 #9236065

GT SOLAR 1001057 (GT SOLAR 1001057) 은 지속적인 생산 공정에서 정확하고 반복 가능한 결과를 만드는 데 사용되는 확산 로와 액세서리입니다. 높은 스루핑 제조 어플리케이션을 위해 설계된 저온, 수직 벽로입니다. 원하는 결과를 생성하기 위해 1001057 퍼니스는 다른 가스, 온도 및 압력을 조합하여 화학 산소 수요 (COD) 로 반도체 웨이퍼에 고체 물질을 침전시킵니다. 이러한 재료는 집적 회로 및 트랜지스터 제작에 사용됩니다. GT SOLAR 1001057에는 플라즈마 밀도 모니터, 균일 한 대기 제어를위한 AGS (Annealable Gas Equipment), 2 개 및 4 개의 스테이션 센서 및 완전한 프로세스 제어를 허용하는 Pro-Run 소프트웨어 컨트롤러가 포함됩니다. 이 "시스템 '은 습기 와 건기 를 모두 작동 시킬 수 있으며, 전체 확산 과정 에서 고온" 웨이퍼' 의 열 "프로파일링 '을 한다. 1001057에는 용광로 적재실 및 기타 많은 액세서리도 포함되어 있습니다. 로드 락 챔버 (loadlock chamber) 는 균일성과 재생성을 향상시키는 반면, AGS (annealable gas unit) 는 확산 과정의 대기를 제어하는 데 사용됩니다. 또한 Pro-Run 소프트웨어를 사용하면 모니터링 및 실시간 데이터 분석을 자동화할 수 있습니다. 공정의 품질 (quality) 을 보장하기 위해 기계는 실시간 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 기술을 통합하여 확산 공정의 정확한 온도 및 도핑 조건을 모니터링 할 수 있습니다. GT SOLAR 1001057은 웨이퍼 전체에서 균일성을 통해 정확한 반복성을 제공합니다. 다양한 크기의 최대 4 개의 웨이퍼를 서비스 할 수 있습니다. 그것 은 산화 질소, 질소, "아르곤 '과 같은 여러 가지" 가스' 로 작동 할 수 있으며, 그것 은 매우 다양 한 "가스 '와 물질 화학 물질 에 적합 하다. 이 도구는 또한 섭씨 50 ~ 1000 도의 정확한 온도 프로파일링을 가능하게하며, 최대 200 ° C/분의 램프 속도와 자동 튜닝 및 자동 배열 기능으로 인한 반복성을 제공합니다. 전체적으로 1001057 자산은 높은 수준의 정밀도 (precision) 와 반복 (repeatability) 을 필요로 하는 지속적인 생산 프로세스에 적합한 기계입니다. 구성 요소의 조합은 균일하고 예측 가능한 결과를 보장합니다. 폭넓은 기능으로, 품질 확산 (Quality Diffusion) 결과를 빠르고 효율적으로 달성해야 할 때 이상적인 선택입니다.