판매용 중고 FUJIFILM TC 2000 #9399084

FUJIFILM TC 2000은 주로 반도체 제조 작업에 사용되는 확산 용광로 및 관련 액세서리입니다. 그 목적 은 매우 얇은 금속층 을 "실리콘 웨이퍼 '에 성공적으로 증착 시키는 것 이다. TC 2000에는 스테인리스 스틸 구조의 4 개 구역이있는 1 차 챔버와 2 개의 개별 구역이있는 2 차 챔버가 있습니다. 1 차 챔버 내부에는 열 절연, 자기 밀봉 열 장벽 및 가스 흐름 기반 배기 시스템이 있습니다. 4 개의 영역은 독립적으로 제어 될 수 있으며, 산화, 질화, 심층 확산 등 다양한 유형의 프로세스 단계를 수행하는 데 사용됩니다. 후지 필름 TC 2000 (FUJIFILM TC 2000) 은 저항 가열 요소 배열을 사용하여 열 에너지로 변환 된 직접 전기 에너지를 생성합니다. 이것은 열 절연층 (thermal insulation layer) 으로 전달되어 균등하고 균일한 열 분포를 보장합니다. 개별 가열 요소 온도는 조정 가능한 온도 제어기 (temperable temperon controller) 를 사용하여 제어하여 일관된 프로세스를 보장합니다. 고급 PLC 기반 닫힌 루프 제어 시스템은 TC 2000의 프로그래밍 및 작업을 관리합니다. 여기에는 PID 제어 공정 챔버 온도, 도어 작업 및 경보 관리 기능이 포함됩니다. 사용자에게 친숙한 터치 스크린 인터페이스를 통해 FUJIFILM TC 2000을 빠르고 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. TC 2000은 영화 성장, 활성화 리플로우, 도펀트 확산, 전열 처리 등 다양한 응용 시나리오에 적합합니다. 또한 열 가드 (thermal guard), 연속 샤프트 (continuous shaft) 및 이동식 진공 포트 (removable vacuum port) 와 같은 다양한 호환 액세서리와 함께 사용하도록 설계되었습니다. 표준 구성에서 FUJIFILM TC 2000에는 Mitsubishi 컨트롤러, 확산 엘리베이터 및 메쉬 유형 난방 요소가 포함되어 있어 레이어 두께를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 증발 가스 통풍구 (vent port for evaporated gas), 안전 인터 록 (safety interlock) 및 온도 측정을위한 피로미터 (pyrometer) 와 같은 다양한 안전 기능이 포함됩니다. 전반적으로, TC 2000은 가장 높은 제조 요건을 충족하도록 설계된 안정적이고 강력한 확산 로입니다. 후지필름 (FUJIFILM) TC 2000은 첨단 제어 및 난방 (heating) 요소를 활용하여 정확성과 반복성이 높은 얇고 복잡한 금속 층을 일관되게 제공할 수 있습니다.