판매용 중고 EUGENE Cardinal2000 #9282138

EUGENE Cardinal2000은 반도체 제조업체를위한 고 수율 이온 이식로 및 장비입니다. 이 확산 용광로 및 액세서리는 이온 이식 공정에서 정확한 제어 및 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 탁월한 성능과 열 제어를 보장하여 서브 미크론 (sub-micron) 구조를 효율적으로 생산할 수 있습니다. 용광로에는 내열성 세라믹 면이있는 긴 석영 튜브 (quartz tube) 와 난방선으로 채워진 외부 쉘 (shell) 이 있습니다. 이를 통해 단위 전체에서 가장 효율적이고 균일 한 온도 확산이 가능합니다. 이 장치에는 최적화된 안전 및 보호를 위해 고온 SiC 파우더 코팅 쉘이 장착되어 있습니다. 공정의 최소 점유율을 확보하기 위해 Cardinal2000에는 고급 모듈식 (modular) 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 여기에는 통합 및 액세스 가능한 PLC, 직관적인 운영 소프트웨어 및 임플란트 시스템의 실시간 디스플레이가 포함됩니다. 이러한 컨트롤을 통해 정확한 제어 (control) 를 통해 제품을 신속하게 변경할 수 있으며, 그 결과 생산량이 향상되고 품질이 가장 높은 제품이 생성됩니다. EUGENE Cardinal2000의 추가 기능에는 모든 세라믹 EMI 쉘, 가스 분석 및 피드백 및 접촉이없는 카세트 처리가 포함됩니다. 세라믹 플레이트가있는 EMI 쉘은 원치 않는 전기 및 자기 교란을 제거하여 도펀트 확산을 심화시킵니다. 또한, 가스 분석 및 피드백은 최적의 프로세스 제어 및 반복 가능한 성능을 제공합니다. 마지막으로, 접촉이없는 카세트 처리는 접촉없이 웨이퍼를 옮길 수 있습니다. 카디널2000 (Cardinal2000) 은 확산 공정에서 내구성과 정확한 제어가 필요한 반도체 제조업체에 이상적인 선택입니다. 고온 성능, 안전 우선 설계, 통합 제어 시스템, 무접촉 (contact-less) 카세트 처리를 통해 제조업체는 최고의 수율 및 제품 품질을 얻을 수 있습니다.