판매용 중고 EUGENE BJM3000 #9311273

유진 BJM3000 (EUGENE BJM3000) 은 반도체 소자 생산과 같은 산업에 사용되는 다양한 재료의 확산에 사용되는 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 이 시스템은 3 가지 주요 구성 요소 (주 용로, 확산 챔버 및 보조 액세서리 장치) 로 구성됩니다. BJM3000의 주요 용광로는 큰 열 질량을 특징으로하며 0 ~ 1650 ° C의 다양한 온도를 제공 할 수 있습니다. 독립적 인 전력 조절기를 갖춘 이중 SiC (Silicon Carbide) 난방 요소가 있으며 정밀한 열 제어를 제공합니다. 주요 용광로에는 2 개의 진공 펌프, 비활성 가스 입구 및 개선 된 공정 대기 유지를위한 배기 통풍구가 장착되어 있습니다. 확산 챔버는 480 ° C ~ 1050 ° C의 온도에서 확산 과정을 수행 할 수 있습니다. 챔버에는 공정 재료의 원천 역할을하는 멀티 존 (multi-zone) 쿼츠 난로 판이 있습니다. 석영 난로 판은 확산 기체가 공정 웨이퍼와 균등하게 상호 작용하도록 설계되었습니다. 유진 BJM3000 (EUGENE BJM3000) 의 보조 액세서리 장치에는 가스 분포 및 주입을위한 장치 가스 박스, 증기 주입 매니 폴드, 공정 챔버의 가스 및 배기 가스를위한 가스 청소기 (gas cleaning machine) 가 포함되어 있습니다. 또한 그래픽 사용자 인터페이스가있는 원격 모니터링 (Remote Monitoring) 및 제어 콘솔 (Control Console) 을 통해 필요할 때 동적 반응 조정이 가능합니다. BJM3000은 초저온 용광로에서 고온 확산에 이르기까지 다양한 최적화 된 솔루션을 제공합니다. 효율적인 열 관리는 고성능, 신뢰성, 비용 효율적인 확산 솔루션을 제공하여 하이엔드 반도체 장치 생산을 지원합니다.