판매용 중고 EUGENE BJM3000 #293587383
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EUGENE BJM3000은 EUGENE Instruments Company에서 설계 및 제작 한 확산 용광로 및 액세서리입니다. 반도체 재료의 어닐링 (annealing) 과 도핑 (doping) 에 적합한 고효율의 다기능 용광로입니다. BJM3000은 강력한 가스 흐름 순환 시스템과 결합 된 가열 진공 챔버 (heated vacuum chamber) 를 사용하여 증착 과정을위한 균일 한 열 환경을 만듭니다. EUGENE BJM3000 (EUGENE BJM3000) 은 손쉬운 운영 및 유지 관리를 위해 설계되었으며, 이는 모든 실험실 또는 생산 환경에 이상적인 선택입니다. 모든 프로세스에 대한 정확한 온도, 흐름, 시간 제어를 위한 고급 (사용자 친화적) 컴퓨터 제어 시스템 (computer control system) 을 갖추고 있습니다. 이를 통해 확산 프로세스의 정확도, 정확도, 제어 수준이 훨씬 높아집니다. BJM3000의 디자인에는 주요 공정 챔버에 연결된 별도의 고 진공 챔버 (high-vacuum chamber) 가 포함되어 있습니다. 프로세스 챔버 내부에서 사용자는 다양한 난방 요소 (2 개의 독립적 저항 요소, 2 개의 단일 구역 마이크로파 소스 및 4 개의 유도 코일 소스) 중에서 선택할 수 있습니다. 이 모든 요소를 동시에 활성 (active) 하고 조정하여 원하는 온도 및 흐름 제어를 제공할 수 있습니다. 주 공정 챔버에는 여러 자동 급지대, 흑연 서셉터, 웨이퍼 로더 등 다양한 도구가 있습니다. EUGENE BJM3000에는 긴급 차단 시스템, 구역 격리 모니터, 가스 압력 센서 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 이러한 안전 기능을 통해 사용자는 고온 확산 프로세스를 안전하게 수행할 수 있습니다. BJM3000에는 강력한 진공 시스템, 한 쌍의 열 필터, 백킹 펌프 (backing pump) 를 포함한 완전한 액세서리 세트가 제공됩니다. 다양한 튜빙, 펌프 및 기타 구성 요소도 포함됩니다. 이 제품에는 포괄적인 문서와 기술 지원도 함께 제공됩니다. 유진 BJM3000 (EUGENE BJM3000) 은 고성능, 사용하기 쉬운 확산로 및 액세서리를 찾는 실험실 및 생산 시설에 이상적인 선택입니다. 다기능 설계 (Multi-Functional Design) 및 고급 안전 (Advanced Safety) 기능을 통해 모든 확산 프로세스 애플리케이션에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.
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