중고 ESPEC (확산로 및 액세서리) 판매용
ISM은 (는) 유명한 확산 용광로 제조업체이며 성능을 향상시키기 위해 다양한 액세서리를 제공합니다. 확산로 (diffusion furnace) 는 반도체 업계에서 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에 얇은 층의 물질을 만드는 데 사용되는 특수 열 처리 장비입니다. SAP는 HPS-220/222 및 PHC-111M을 포함한 다양한 유사체가있는 확산 용광로를 제공합니다. HPS-220/222는 고순도 쿼츠 튜브 (quartz tube) 와 여러 웨이퍼를 수용할 수있는 배치 유형 시스템 (batch type system) 을 갖춘 수평 고온로입니다. 정확한 온도 조절과 균일성을 통해 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 반면, PHC-111M (PHC-111M) 은 소규모 작업에 적합한 소형 수직 용광로입니다. 사용자 친화적이며 에너지 효율적이며 뛰어난 프로세스 반복 기능을 제공합니다. SAP의 확산 용광로에는 몇 가지 장점이 있습니다. 그들은 정확한 가스 흐름 제어 시스템을 가지고 있으며, 확산 과정에서 균일성을 가능하게합니다. 온도 조절 메커니즘은 안정적이고 정확한 가열을 보장하여 웨이퍼 변형을 최소화합니다. 프로그래밍 가능한 컨트롤러는 쉽게 작동하고 데이터를 관리할 수 있습니다. ISMI는 또한 가스 전달 시스템, 튜브 클리너, 가스 분석기 등 확산 로를위한 다양한 액세서리를 제공합니다. 이 액세서리는 용광로의 기능 및 효율성을 향상시켜 반도체 제조 공정에 원활하게 통합할 수 있게 해 줍니다 (영문). 결론적으로, HPS의 확산 용광로 및 액세서리 (예: HP-220/222 및 PHC-111M) 는 반도체 산업의 정확하고 균일 한 확산 프로세스에 대한 고급 기능을 제공합니다. 안정성, 사용자 친화적 설계, 고성능 기능으로 반도체 제조에 이상적인 제품입니다.