판매용 중고 DSI SD-200 #156913

DSI SD-200 퍼니스는 제조 과정에서 질소 (Nitrogen), 아르곤 (Argon) 및 수소 (Hydrogen) 와 같은 가스의 빠른 고주파 확산을 실리콘 웨이퍼에 제공하도록 설계된 고급 확산 장비입니다. 이 시스템은 혁신적인 4 구역 (four-zone) 용광로 설계를 사용하여 전체 용광로에서 매우 정확한 온도 조절 및 균일성을 달성합니다. 이것 은 "와퍼 '속 으로" 가스' 를 확산 하는 것 이 일관성 있는 방법 으로 이루어지게 하는 데 도움 이 된다. 이 장치 는 또한, 시간 이 흐르면서 전체 "툴 '의 온도 를 안정 시키고 균일 하게 유지 하는 데 도움 이 되는 독특 한 냉각기 를 제공 하여, 확산 과정 의 질 과 효율성 을 더욱 높여 준다. SD-200 확산 로는 3 구역 유도 난방 모듈, 발전기 또는 사이리스터 제어 솔리드 스테이트 스위칭 LC 필터링 로드, 제어 모듈 및 소프트웨어 제어 패널을 구동하는 솔리드 스테이트 전원 공급 장치로 구성됩니다. 3 구역 난방 모듈에는 별도의 온도 센서가있는 3 개의 고유 한 난방 영역이 있습니다. 이 "에셋 '을 사용 함 으로써, 각" 존' 의 온도 를 정확 하게 조절 할 수 있으며, 그 로 인해 열 을 균일 하게 적용 하고 "가스 '를 표적 물질 에 확산 할 수 있다. 이를 통해 효율적이고 일관된 재료 확산이 가능합니다. 모델에서 공급되는 솔리드 스테이트 (solid-state) 전원 공급 장치는 반복 가능하고 신뢰할 수 있는 성능을 제공하도록 설계되었으며, 전원 발전기와 사이리스터 제어 솔리드 스테이트 스위칭 LC 필터링 로드 모두에 필요한 제어 전원을 공급할 수 있도록 설계되었습니다. DSI SD-200 확산 장비는 이 장치를 3 존 (zone) 유도 난방 모듈 및 소프트웨어 제어판과 결합하여 정확하고 반복 가능한 확산 결과를 제공할 수 있습니다. 마지막으로, 시스템에는 다양한 액세서리와 구성 요소가 함께 제공됩니다. 여기에는 전원 보정기, 온도 컨트롤러, 밸빙 모듈, 필터, 센서 및 비활성 충전 파이프가 포함됩니다. 이러한 모든 구성 요소를 사용하여 확산 과정의 정확도, 반복 가능성, 효능을 더욱 향상시킬 수 있습니다. SD-200 확산 로는 반도체 제조업체를 위한 효율적이고 안정적인 확산 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 고급 구성 요소와 제어 난방 모듈 (Control Heating Module) 을 결합하여 반복 가능하고 일관된 결과를 제공할 수 있습니다. DSI SD-200 확산 용광로 (DSI SD-200) 는 혁신적인 디자인과 함께 제공되는 액세서리를 사용하여 반도체 제조업체에 편리하고 신뢰할 수 있는 도구를 제공합니다.