판매용 중고 DIRE 10 #9119220

ID: 9119220
웨이퍼 크기: 5"-8”
빈티지: 1992
Furnace, 5"-8” (2) Tubes of LPCVD (Flat Poly & BPSG) (2) Tubes of Wet Ox 7680 Loaders Direction Saddles and Door Closures Breakers in Offset Shroud ASEA Breakers 2962044 cores, 1150C max on tubes 1 & 2 (Wet Ox) 2962079 cores, 1000C max on tubes 3 & 4 (Poly & PSG) Transformers ok for 8” and/or high temp Setup for 5” wafers. Can be upgraded to 8” 7630 Temp Controllers Internal Torch (Tube 1) Old style 7618 External Torch (Tube 2)• (2) Schumacher ATCS15 Bubbler controllers for TCA Unit 1100 and 2020 MFCs Internal UPS Individual Input and Output modules Bulkhead cabling 55x22 Software (2) 7900 Atmospheric Gas Modules (tubes 1 & 2) (2) 8100 LPCVD Gas Modules (tubes 3 & 4) Pumps, fore lines, vacuum components for the two LPCVD tubes are not included 1992 vintage.
DIRE 10은 실리콘 (Si) 및 도핑 다결정 실리콘 (DPSC) 을 생산하는 데 사용되는 확산 용광로 및 수반 액세서리입니다. 용광로와 그 액세서리는 고성능 반도체 개발을위한 귀중한 도구입니다. 10 용광로는 최대 1150 ° C의 온도에서 작동 할 수 있으며 최대 30 시간 동안 실행되는 처리가 가능합니다. 첨단 자동 제어 (Automatic Control) 장비가 장착되어 있으며, 원활한 난방 및 냉각 시스템을 활용하여 정확성과 효율성을 보장합니다. 이 시스템은 온도 조절과 안정적인 결과를 허용합니다. 이 용광로에는 자동 석영 및 알루미나 도가니 시스템 (alumina crucible system) 이 장착되어 균일 한 난방과 균질 한 도핑을 보장합니다. 이 장치는 질소, 인, 붕소 전구체에 의한 우수한 납 도핑과 게르마늄 도핑을 허용합니다. 도가니 (crucible) 는 고성능 램프로 구동되며 최대 7.5kW/cm2의 효율적인 분산 전력을 생산할 수 있습니다. 퍼니스의 액세서리에는 쿼츠 (quartz), 알루미나 (alumina) 소모품 및 최적의 성능 및 안전을 위해 설계된 보조 부품이 포함됩니다. 석영 과 "알루미나 '소모품 은 용광로 의 오염 을 방지 하고" 가스' 와 시약 이 혼합 되지 않도록 설계 되었다. 부수적 인 구성 요소 를 이용 하면, 용광로 의 효율적 인 채우기 와 배수 를 하고, 도가니 "온도 '의 정확 한 조절 을 할 수 있다. 또한 DIRE 10에는 정확한 흐름 제어 및 일관된 결과를 제공하기 위해 설계된 가스 (gas) 및 시약 (reagent) 전달 기계가 포함되어 있습니다. 이 도구는 완전히 자동화되어 있으며, 고급 센서와 컨트롤러를 사용하여 작동이 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 10 (10) 은 사용자에게 안정적이고 효율적인 확산 프로세스를 제공하도록 설계되었으며, 이는 높은 수율과 일관되게 우수한 재료 품질을 제공합니다. 고정밀 온도 조절, 효율적인 석영 및 알루미나 소모품, 자동 가스 및 시약 전달 자산을 갖춘 DIRE 10은 일관된 고성능 결과를 보장합니다.
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