판매용 중고 DIFF IFB-ZWT03A #9292381
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DIFF IFB-ZWT03A는 비용 효율적인 고품질 마이크로 일렉트로닉 부품 제작을 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 장비는 3 개의 수평 핫 존 난방 요소와 6 개의 BN (Boron Nitride) 도가니 구성 요소가있는 단일 웨이퍼 확산 로를 기반으로합니다. 용광로는 분당 최대 30 그램의 조정 가능한 급지대를 가지고 있습니다. 각 영역의 0.03 ° C 균일 한 온도와 모든 온도 범위의 0.004 ° C 정확도를 제공합니다. BN 도가니 성분은 최대 1,500 ° C까지 견딜 수있는 온도 안정, 수열 내성 설계를 특징으로합니다. 또한, 용광로의 열 질량은 빠른 시동, 종료 및 온도 램프를 허용하도록 낮게 설계되었습니다. IFB-ZWT03A는 또한 최첨단 닫힌 루프 온도 컨트롤러를 사용하여 정확하고 안정적인 온도 제어를 보장합니다. 고출력 3 구역 가열 요소는 가열 구역의 균일성을 최적화하여 산화, 도펀트/불순물 확산 및 마이크로 전자 성분의 어닐링을 위해 설계되었습니다. 공정 튜브 (process tube) 는 작동 중 다용성을 제공하도록 설계되었으며, 열 질량이 낮아 빠르고 일정한 가열 속도와 최소 온도 변화를 보장합니다. 이 시스템에는 또한 고효율 RMS (Rotary Mass Spectrometer) 가 장착되어 있어, 빠르고, 안정적이며 정확한 질량 분석법으로 단일 샷 작업을 수행할 수 있습니다. DIFF IFB-ZWT03A는 자동 처리 시스템과 완전히 통합 될 수 있으며 널리 사용되는 모든 CMOS, BiCMOS, DRAM, 회로 및 기타 구성 요소 기술과 호환됩니다. IFB-ZWT03A 설계는 환경 영향을 최소화하면서 운영 및 유지 관리 효율성을 극대화합니다. 이 장치는 에너지 소비, 소음, 진동 및 배출을 줄이기 위해 구성됩니다. 안전하고 안전한 운영 환경을 위해 압력 완화 밸브 (Pressure Relief Valve), 압력 스위치 (Pressure Switch), 비상 차단 및 압력 게이지와 같은 안전 기능도 포함됩니다. 또한, 원격 현장 모니터링 시스템, 프로세스 경고, 데이터 로깅 (Data Logging) 기능과 같은 프로세스 제어 모니터는 교정 및 작업 중에 사용자에게 자신감 및 보증을 제공합니다. 전반적으로 DIFF IFB-ZWT03A는 최고 수준의 확산 로와 액세서리 머신으로, 최고의 성능, 유연성 및 안전성을 제공하도록 설계되었습니다. 복잡하고 고급 마이크로 일렉트로닉 컴포넌트 (microelectronic component) 제작을 가능하게하기 위해 정확하고 강력한 처리 작업이 가능합니다. 이 툴은 고품질 결과, 탁월한 안정성, 전체 서비스 지원을 원하는 사용자에게 이상적인 툴입니다.
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