판매용 중고 DENGYNG DF-40 #9309231
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DENGYNG DF-40 (DENGYNG DF-40) 은 수직 유형의 확산 로와 액세서리로, 광범위한 재료의 안정적인 저온 확산 처리를 제공합니다. 용광로는 산화 및 환원 대기 모두에 사용될 수 있으며 최대 1300 ° C (2370 ° F) 의 정지 또는 고온 범위에서 작동 할 수 있습니다. DF-40 의 표준 구성은 듀얼 스테이지 디자인의 수직 챔버 (vertical chamber) 를 특징으로하며, 이를 통해 여러 웨이퍼를 동시에 확산시킬 수 있습니다. 이중 단계 디자인은 가열 된 웨이퍼 (wafer) 를 가로 질러 반응물이 풍부한 가스를 통과 한 다음 중성 가스 (neutral gaseous) 대기에서 식힌다. 이 기술은 프로세스의 균일성을 허용하며, 확산 후 (post-diffusion) 클리닝 단계의 필요성을 최소화하고 제거합니다. DENGYNG DF-40은 무거운 의무로드 바구니로 인해 최대 8 개의 6 인치 (150mm) 웨이퍼를 쉽게 수용 할 수 있습니다. 상공 챔버의 직경은 3 인치 (12 인치) 로 두께가 균일한 얇은 필름에 이상적입니다. 또한 자동 차단 (automated shut-off) 시스템이 장착되어 있어 불필요한 손상 및 과열로부터 프로세스를 보호합니다. 확산 로에는 편리하고 쉽게 읽을 수 있는 제어판이 있습니다. 여기서는 모든 사용자 설정을 간략하게 볼 수 있습니다. 자동 레시피 프로그래밍 (Automatic Recipe Programming) 기능을 사용하면 지정된 프로세스에 필요한 매개변수를 미리 설정하여 빠르고 쉽게 재생산하여 시간을 절약할 수 있습니다. 또한 DF-40에는 2 구역 열 영역 온도 조절 시스템이 장착되어 있어 온도 및 생산 시간을 정확하게 제어 할 수 있습니다. DENGYNG DF-40 외관은 공기 흐름 조정 핀 게이지, 공기 유입 제어 밸브, 디지털 타이머 등 여러 가지 중요한 기능이 내장되어 있습니다. 또한, 확산 과정에서 안전성과 정확성을 보장하기 위해 온도가 낮은 센서와 온도가 낮은 센서가 모두 설치됩니다. 안전 잠금 장치 (Safety Lock) 는 양쪽에 설치되어 있어 사용자가 키를 사용하여 챔버를 잠글 수 있습니다. 그 과정 이 "에너지 '효율적 인지 확인 하기 위하여 장치 는" 테플론' 절연 장치 를 갖추고 있어서 "에너지 '소모 를 감소 시킨다. 주파수 변환기를 조정할 수 있으며 다양한 작동 시간을 허용합니다. DF-40은 다양한 특정 확산 요구 사항에 대한 슬리브 (sleeve), 가스 믹싱 (gas mixing) 등과 같은 다양한 옵션으로도 제공됩니다. 전반적으로 DENGYNG DF-40 (DENGYNG DF-40) 은 연구 및 산업 응용 프로그램 모두를 위해 안정적이고 효율적인 툴로, 저온 확산 처리에 이상적인 솔루션을 제공합니다. 안전과 정확성의 최고 기준을 보장하는 "자가 진단 시스템 (self-diagnostic system) '이다.
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