판매용 중고 DEGUSSA VKSQ 80-80-120 #9003361
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ID: 9003361
Vacuum furnace
Operation temp: 150° C
Watercooled: 100° C
Capacitance (internal): 11750 L
Capacitance (doble coat): 540 L
Operating pressure (internal): -1 / +10 bar
Operating pressure (doble coat): +1.5 bar
Pump 1: VAROVAC S400F
Pump 2: RUVAC RA3001
1991 vintage.
DEGUSSA VKSQ 80-80-120은 매우 다재다능한 3 개의 영역 확산 로와 액세서리 장비입니다. III-V 단일 결정 및 금속 도자기와 같은 혁신적인 재료를 제조하는 데 필요한 공정 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 용광로 는 "실리콘 '원료 와 같은 반응물 을 가열 된 지대 에 도입 한 다음, 1 초 가 조종 한 대기 중 에 가공 한 다음, 어떤 경우 에는 3 차 확산 지대 (diffusing zone) 로 작용 하여 보다 복잡 한 화합물 을 만든다. 강력하고 경제적인 이 장비는 많은 양의 에너지 (energy) 와 고가의 진공 공정 (vacuum process) 을 제거하는 데 도움이 되며, 업계에서 가장 높은 수율을 제공합니다. 기본 부품은 용광로 본체, 텅스텐 층 은행, 공기 열 교환기 및 플루 가스 콘센트로 구성됩니다. 텅스텐 층 은행 (tungsten layer bank) 은 열 에너지원으로, 고온에서 물질 챔버를 구운 반면, 공기 열 교환기는 들어오는 산소, 질소 또는 아르곤을 재료 챔버로 밀어넣기 전에 예열합니다. 이어서, 플루 가스 콘센트 (flue gas outlet) 는 일련의 2 차 버너 및 기타 제어 재료를 사용하여 챔버에서 열 에너지를 배출한다. VKSQ의 다른 구성 요소로는 주 가열실, 절연 라이너, 온도 측정 시스템 및 자동 온도 조절 장치 (automatic temperature control unit) 가 있습니다. 메인 챔버 (Main Chamber) 에는 대용량 및 여러 난방 구역이 있어 확산을 촉진합니다. 실리콘 소스는 고온 내성 밸브를 통해 챔버에 안전하게 도입됩니다. 인슐레이션 라이너 (insulation liner) 는 챔버를 절연시키는 보호 레이어를 제공하며, 온도 측정기 (temperation measurement machine) 에는 온도를 실시간으로 추적하는 매우 민감한 온도 센서가 장착되어 있습니다. 마지막으로, 고급 온도 제어 도구는 사용자의 사전 설정된 사양에 따라 자동으로 온도를 조정합니다. DEGUSSA VKSQ (DEGUSSA VKSQ) 는 우수한 결과를 제공하도록 설계되었으며, 온도 안정성과 주요 비용 절감 및 재료 낭비 감소에 도움이 되는 프로세스 유연성을 제공합니다. 안정성이 뛰어나고 내구성이 뛰어난 장비로, 고온 열을 견뎌내어 장기간 사용할 수 있도록 설계되었습니다.
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