판매용 중고 CHIYODA ELECTRONICS ACS-650 #9352553

CHIYODA ELECTRONICS ACS-650 확산 로는 신뢰성이 높은 결과와 정확한 온도 제어를 위해 설계된 최첨단 도구입니다. 그것은 종종 기판에서 금속 및/또는 반도체 재료의 증착에 사용되며, 다양한 반도체 연구 및 프로세스 개발을 가능하게합니다. 이 용광로는 박막 증착 (Thin film deposition) 및 도핑 (doping) 과 같은 기기를 위해 안정적이고 잘 조절 된 플랫폼을 위해 견고한 디자인을 갖추고 있습니다. ACS-650 확산 로에는 최대 작동 온도 범위 1750 ° C로 최대 600mm의 재료를 수용 할 수있는 단일 도가니 챔버 (crucible chamber) 가 장착되어 있습니다. 챔버 (Chamber) 의 내부 부품은 안전하고 효과적인 환경을 보장하기 위해 고급 전기 용광로 재료로 구성됩니다. 또한 간편한 액세스 및 유지 관리를 위한 개방형 디자인이 있습니다. CHIYODA ELECTRONICS ACS-650의 고급 제어 시스템은 온도 프로필 컨트롤러, 실시간 레시피, 데이터 로깅, 크립 밸런싱 시스템 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. 프로파일 컨트롤러 (Profile Controller) 를 사용하면 최적화된 응용 프로그램 및 재료 레시피를 위해 사용자정의 온도 프로파일을 만들고 저장할 수 있습니다. 실시간 레시피 기능을 사용하면 최적의 결과를 얻기 위해 정확한 온도 프로파일을 생성, 저장, 회수할 수 있습니다. 데이터 로깅 시스템을 사용하면 온도 프로파일 (temperature profile) 데이터를 추적 및 저장하여 나중에 비교 및 분석할 수 있습니다. 크리프 밸런싱 시스템은 사이클릭 작업 중에 온도가 범위 내에 유지되도록 보장하여 정확도를 향상시킵니다. ACS-650에는 성능을 향상시키기 위해 다양한 액세서리가 장착되어 있습니다. 용광로 뚜껑에는 광원이 있는 위치 창 (position window) 과 프로세스 모니터링이 용이한 카메라가 있습니다. 가구 세트는 도가니 덮개, 도가니 리프트, 도가니 삼각대 및 수평 배플 디스크로 구성됩니다. 도가니 "커버 '는 오염 을 방지 하는 데 사용 될 수 있으며, 도가니" 리프트' 는 도가니 에 쉽게 접근 할 수 있다. 수평 배플 (수평) 디스크는 재료를 챔버의 한 부분에 보관하여 제어력과 정확도를 높입니다. 또한, CHIYODA ELECTRONICS ACS-650에는 프로세스 중 가스 흐름을 정확하게 제어하기위한 고정밀 가스 흐름 미터와 누출 감지 및 안전 장치를 갖춘 특별한 'CEA' 호환 가스 시스템이 포함되어 있습니다. 통합 안전 시스템은 전력 또는 N2 흐름이 손실될 경우 자동 (automatic) 종료를 허용합니다. ACS-650 확산 경로는 반도체 연구 및 프로세스에 적합한 도구입니다. 강력한 디자인, 고급 제어 시스템 및 다양한 액세서리를 통해 CHIYODA ELECTRONICS ACS-650은 안정성이 뛰어난 사용자 친화적 솔루션입니다.