판매용 중고 CETC SYQ-150TS #9076766

CETC SYQ-150TS (CETC SYQ-150TS) 는 반도체 산업 내에서 고온 작동을 위해 설계된 확산 로와 함께 제공되는 액세서리입니다. 이 제품의 기능에는 고온 내구성, 온도 균일성 및 일관된 결과가 포함됩니다. 용광로 보어는 풍부한 탄소 기반 재료 인 흑연 (graphite) 으로 만들어졌으며, 이는 최대 2,800 'C의 고온에 대한 내성을 제공하며 비활성 및 부식성이 없습니다. 또한, 흑연 보어는 금속보다 열 충격에 더 강합니다. 보어는 미크론 정확성을 보장하기 위해 정확하게 가공됩니다. 확산 로는 공기 냉각 (air cooling) 과 강제 대류 팬 (forced-air convection fan) 을 사용하여 냉각 성능이 최상의 성능에 최적으로 유지되도록 합니다. 공랭식 시스템은 ± 2 'C의 온도 균일성을 유지합니다. 오븐 처리 영역은 온도가 균일하며 최대 2,200 'C까지 가열 할 수 있습니다. 온도 증가 속도는 20 'C-40' C/min이며, 온도의 실시간 판독을 보여주는 디지털 디스플레이가 있습니다. 앞면 (front) 패널에는 사용자가 프로세스에 적합한 온도를 쉽게 설정할 수 있는 컨트롤러 (controller) 도 있습니다. 가열 메커니즘은 4 영역 가열 요소와 함께 작동하여 각 가열 영역 (heating zone) 을 개별적으로 제어하여 온도 프로파일을 최적화합니다. 4 구역 난방은 전체 처리 영역에서 온도 균일성을 유지합니다. 또한, 기판을 균일 한 온도로 유지하고, 핫스팟의 형성을 방지합니다. 바닥 난로 는 "웨이퍼 '를 운반 하는 데 사용 되며, 열 분해 를 방지 하는 내열 물질 로 만든다. 세라믹 수냉식 바닥 난로 (ceramic water-cooled bottom hearth) 는 웨이퍼 (wafer) 나 패키지 재료의 변색을 방지하기 위해 설계되었으며, 웨이퍼를 과열 할 위험없이 고온 작업을 수행 할 수 있습니다. 또한 SYQ-150TS에는 국제 표준 규정 준수 압력 조절기 (International Standard Compliance pressure regulator) 가 장착되어 있어 필요할 때 용광로를 감압할 수 있습니다. 압력 조절기 (pressure regulator) 는 용광로가 과압되는 것을 방지하여 용광로가 과도하게 뜨거워 질 수 있습니다. 이러한 기능 외에도 CETC SYQ-150TS에는 튜브로, 쿼츠 튜브, 등열 실드 및 기타 다양한 도구와 같은 다양한 액세서리가 제공됩니다. SYQ-150TS 확산 로와 함께 제공되는 액세서리는 모두 정확하고 균일하게 다양한 프로세스를 수행하도록 설계되었습니다.