판매용 중고 CENTROTHERM VLO 180-H2 #9255736

CENTROTHERM VLO 180-H2는 CENTROTHERM VLO 제품군의 확산 로와 액세서리입니다. 이 제품은 전자 제품 (Electronics Application) 용으로 설계되었으며 모든 수준의 난방 및 냉각 주기에 걸쳐 높은 온도 제어 (Temperature Control) 를 제공합니다. VLO 180-H2는 종종 마이크로 일렉트로닉스 및 광전자 산업에 사용되는 금속 증기 상 에피 택시 성장과정에 최적화되어 있습니다. 모듈식 구조로 설계된 CENTROTHERM VLO 180-H2는 베이스 플레이트 길이가 1800mm 인 핫월 퍼니스와 DM-210 메인 컨트롤러 (최대 3 개의 추가 모듈) 로 구성됩니다. 다양한 열 영역 (thermal zone) 을 모니터링하는 기능을 통해 300 ° C ~ 1300 ° C의 광범위한 공정 온도를 제공하여 다양한 응용프로그램 및 프로세스에 적합합니다. 자가 수송 가능한 기지 및 가스 분배실 (gas distribution chamber) 과 결합 된 핫월의 확장 된 길이로, 안정적이고 효율적입니다. VLO 180-H2에는 멀티 존 센서 저항기, 전면/후면 퍼지, 스테인리스 스틸 플라워 미터가있는 상단/하단 가스 밸브, 응력 감소를 위해 최적화 된 열 프로파일 등 CVD 성능 패키지가 장착되어 있습니다. 고급 열 프로파일은 고품질 에피 택시 필름을위한 4 개의 미리 정의 된 온도 단계로 구성됩니다. 또한 25 와트/cm ² 소산 전력과 이중 스크러버 조합을 갖춘 8 구역 히터가 특징입니다. 이 디자인에는 일일 유지 보수를위한 하향식 서셉터 리프트 시스템 (top-down susceptor lift system) 과 최적의 균질성을 위해 가변/조절 가능한 서셉터 직경이 포함됩니다. CENTROTHERM VLO 180-H2 (CENTROTHER VLO 180-H2) 는 매우 정확한 온도 제어 시스템을 갖추고 있으며, 공정 매개변수의 신뢰할 수있는 통합으로 설계되었으며, 고온 균질성을 위한 흑연 서셉터 (susceptor) 와 열 주기를 더 잘 제어하기위한 전기 측정으로 설계되었습니다. VLO 180-H2 의 컴팩트성 (Compactness) 과 유연성 (Flexibility) 을 통해 전자 업계의 다양한 어플리케이션 (온라인 프로세스 진단을 위한 원격 모니터링 시스템, 프로세스 단순화 및 고품질 결과의 자동 인터페이스 등) 에 적합합니다.