판매용 중고 CENTROTHERM E2000 HT 410-4 #9266276
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ID: 9266276
빈티지: 2011
PECVD System
Includes:
J&R Loader / Unloader
(4) Pumps and scrubbers
2011 vintage.
CENTROTHERM E2000 AP HT 410-4는 연구 및 산업 등급 응용 프로그램 모두를 위해 특별히 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 4 면 디자인은 전기 가열 요소와 균일 한 분포를 결합하여 웨이퍼 레벨 처리에 대한 매우 정확한 온도 제어를 보장합니다. CENTROTHERM E2000 HT 410-4는 높은 온도 성능과 빠른 난방/냉각 속도를 제공하며 에너지 소비량이 적습니다. 유연성과 높은 처리량을 가능하게 하기 위해 독립적으로 제어되는 4 개의 난방 영역이 있습니다. CENTROTHERM E2000HT 410-4는 그래픽으로 생성된 메뉴가 있는 직관적인 터치 패널 디스플레이를 통해 설계되었으며, 이를 통해 쉽게 구성하고 작동할 수 있습니다. 폭발 증명 알루미늄 챔버 (Explosion Proof Aluminum Chamber) 는 유지 보수가 적은 안전하고 안정적인 프로세스 환경을 제공합니다. 견고한 디자인은 낮은 열 질량 석영 (quartz furnace) 핫존 (hot zone) 으로 챔버 전체에 균일 한 가열을 보장하는 한편 핫스팟 축적을 방지합니다. 이 장치에는 히터를 닫은 방으로 점화하면 자동 차단 (Auto Shut Down) 을 포함한 안전 기능이 장착되어 있습니다. E2000-HT 410-4는 다용도가 높으며, 다른 자동화 또는 제어 시스템과 쉽게 통합되어 맞춤식 구성이 가능합니다. 통합 온도 컨트롤러, 고속 난방/냉각 시스템, 통합 리프팅 메커니즘 및 이동식 냉각 랙으로 구성됩니다. 프로세스 엔지니어는 편리한 설계를 통해 외부 난방/냉각 시스템 없이도 정교한 프로세스를 개발할 수 있습니다. E2000 HT 410-4는 웨이퍼 레벨 생산 응용 프로그램에 이상적인 안정적이고 가벼운 확산 로입니다. E2000HT 410-4 (E2000HT 410-4) 는 충격 및 진동 저항성으로, 광범위한 재료 분산을 통해 정확한 처리를 제공하도록 설계되었습니다. E 2000 HT 410-4는 소프트웨어가 제어하는 질소 제거를 통해 기능적 조사를 위해 산소가없는 대기를 제공 할 수 있습니다. CENTROTHERM E2000-HT 410-4의 견고한 구성은 고품질의 결과, 확장된 내구성 및 낮은 전력 소비를 보장합니다. 또한, 다양한 프로세스와 산업 어플리케이션 (industrial application) 에 대한 다양한 설정과 재료 구성을 가능하게 합니다.
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