판매용 중고 CENTROTHERM E1550 HT 320-4 #9131102
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ID: 9131102
빈티지: 2001
Furnace
(4) Stacks
Tube 2: LP-CVD Silicon nitride
Tube 3: POCL3 N Doping
Tube 4: Anneal with steam generator
Tube 1: Not configured
Spare parts:
Heating cassette
(2) Toxic gas cabinets
EBARA AAS 100 WN Dry pump
CENTROTHERM Scrubber unit
Heating element
VAT Controller PL3
Sublimation trap
Nitride manifold
EBARA Pump
Nitride pipework
Main vacuum valve
SCHUMACHER Bubbler
VAT Butterfly valve
VAT Butterfly valve control
(2) Process tube doors
Quartzware
Process tubes
Doors
CENTROTHERM Host controller
Tube main screen
(3) MFC
Water flow meter
Digital 380 UTS8 temperature controller / Monitor
5 V / 24 V PSU
Berghof automation paddle controller
Pneumatic door piston
Various valves
Relays
Bearings
Manuals
2001 vintage.
CENTROTHERM E1550 HT 320-4는 CENTROTHERM의 고온 확산 로와 액세서리입니다. 이 강력한 장비는 모든 종류의 반도체 (semiconductor) 응용 프로그램에서 뛰어난 확산 균일성과 프로세스 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. E1550 HT 320-4는 고급 특허 대기 및 온도 조절 기술로 작동하여 확산 과정에서 챔버 전체에 열을 균등하게 퍼뜨립니다. 최대 1950 ° C의 넓은 온도 범위와 4 인치 (Hot Zone) 의 넓은 온도로, 가공소재의 빠르고 효율적인 열 처리가 가능합니다. 또한 CENTROTHERM E1550 HT 320-4에는 다양한 액세서리가 포함되어 있어 편리합니다. 여기에는 열 방패, 시청 창 및 인체 공학적 테이블 탑 스타일의 용광로 기반이 포함됩니다. 열 방패 (heat shield) 는 열적 충격으로부터 섬세한 부품을 보호하기 위해 설계되었으며, 창은 공정을 시각적으로 검사 할 수 있습니다. 용광로 기지는 용광로를 인체 공학적으로 지원하여 안정적이고 안전한 작동을 허용하도록 설계되었습니다. E1550 HT 320-4는 다양한 고온 확산 응용 분야에 적합한 최첨단 확산 로입니다. 대형 4 인치 핫 존, 최대 1950 ° C의 넓은 온도 범위, 고급 프로세스 균일성 및 반복 성을 갖추고 있습니다. 또한, 다양한 액세서리가 장착되어 운영 중 편리성과 보호 기능이 향상되었습니다. 첨단 기술, 안정적인 성능, 견고한 디자인 덕분에 CENTROTHERM E1550 HT 320-4는 어떠한 확산 프로세스에서도 탁월한 선택이 가능합니다.
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