판매용 중고 CENTROTHERM E1550 HT 260-4 #9260101
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ID: 9260101
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2016
Horizontal furnace, 6"
(4) Stacks
(4) Tubes configuration:
LPCVD LTO-PSG
LPCVD HTO
POCl3 Diffusion
Wet oxidation
Heating element: 100-600°C
Flat length: 600 mm
Diameter: 260 mm
(5) Heating zones
Heating element: 400°C-1050°C
Flat length: 600 mm
Diameter: 260 mm
(5) Heating zones
(2) Heating elements: 600-1300°C
Flat length: 600 mm
Diameter: 260 mm
(5) Heating zones
Furnace cooling system: Integrated gas system for DCS: HTO / TEOS process
(3) Standard cooling systems:
Tube closed cycle water cooling system
CENTROTHERM Machine Interface (CMI)
Graphical user interface
(4) Furnace control systems (Field bus: CAN)
(4) Temperature measurements
(4) REG 97 Temperature controllers
Fuzzy enhanced PID control
(4) Cascade temperature controls
(4) Profiling elements
For (5) zone heating elements: Type R
Security system CMS
Independent for up to (4) tubes
Automatic pressure tightness system for closed tube systems
Scavenger
(2) Tube closures
Closed tube for soft landing system
Vacuum door for soft landing system
(4) Tube loading systems:
For soft landing process boat
Gas system cabinet GVS
With main gas lines for N2, O2, H2, SiH4, SiH2Cl2, PH3, N2O
Gas / Vacuum system: LPCVD: LTO-PSG
Gas lines: N2, SiH4 (Rear), PH3 (10% in Ar) (Front, rear), O2 (Front, rear) without vacuum pump
Gas / Vacuum system: LPCVD: HTO
Gas lines: N2, SiH2Cl2 (front, rear), N2O (front, rear), without vacuum pump
Gas system: POCL3 Diffusion
Gas lines: N2, N2 (POCl3), O2, O2 (High)
Gas system: Wet oxidation (Hydrox - ext. torch, DCE – TransLC)
Gas lines: N2, O2, H2, N2O, N2 (DCE), O2 (DCE)
Laminar flow system:
For vertical flow
Process boat lift
Without storage and controlling computer, 6"
Process boat storage
Storage positions plus one manual loading storage, 6"
Loading port
Process boat transfer system
Flat aligner
Power supply: UPS10
No auxiliary equipment
2016 vintage.
CENTROTHERM E1550 HT 260-4 확산 로는 다양한 벌크 크리스탈 성장 프로세스를 위해 설계된 전문적인 수준의 장비입니다. 갈륨 비소 (gallium arsenide), 실리콘 (silicon), 질화물 (nitride) 과 같은 대규모 성장에 고온이 필요한 물질에 이상적입니다. 이 4 구역 용광로는 최대 1300 ° C의 온도에 도달 할 수 있으며, 가스 전달 또는 직접 접촉 난방을 위해 설계되었습니다. 용광로의 중앙 부분은 체인 구동 로터리 난로 (chain-driven rotary hearth) 로 구성되어 있으며, 여기에는 4 개의 난방 구역이 있습니다. 이들 각각은 물질의 전체 부피 전체에 걸쳐 정확한 온도 제어를 위해 독립적으로 제어 할 수있다. 4 개의 난방 구역 (heating zone) 은 에너지의 원천으로서 가스 또는 전기 난방 요소로 작동 할 수 있습니다. 가스 배달 장비는 연료 가스의 각각의 난방 구역 (heating zone) 으로의 흐름을 제어하기위한 3 방향 밸브로 구성됩니다. 또한 CENTROTHERM E1550에는 고속 냉각을위한 흡열 가스 분사 시스템이 있습니다. 용광로에는 2 단계 재순환 공기 장치가 포함되어 있으며, 각 구역마다 별도의 스택 팬이 장착되어 있습니다. "팬 '들 은 대량 냉각기 를 공급 해 주며, 전체 물질적 부피 를 가열 하기 도 하는 뜨거운 공기 의 순환 을 제공 한다. 인라인 비상 정지 단추 (in-line emergency stop button), 가청 및 시각 경보 (audible and visual alarm), 화염 모니터링 열전구 (flame monitoring thermocouple) 와 같은 추가 안전 기능으로 인해 기계의 안전성이 더욱 높아집니다. E1550 HT 260-4 확산 로에는 가스 및 전기 연결뿐만 아니라 자세한 작동 지침도 제공됩니다. 최적의 성능과 효율성을 위해, 내화 장치, 배관 (piping) 및 기타 보조 장비를 포함한 CENTROTHERM 호환 지원 액세서리 제품군과 페어링하는 것이 좋습니다. 이러 한 "액세서리 '를 사용 하면 용광로 의 발사" 파라미터' 를 더욱 정확 하게 제어 할 수 있으며, 당신 의 작업 이 최고 의 질 을 차지 할 수 있다. 결론적으로, CENTROTHERM E1550 HT 260-4 확산 로는 다양한 벌크 크리스탈 성장 프로세스에 이상적인 선택입니다. 첨단 기능, 종합적인 안전 시스템은 높은 온도와 정확한 제어가 필요한 모든 어플리케이션의 이동 (go-to) 장치입니다.
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