판매용 중고 CENTROTHERM E 240 #293622222

CENTROTHERM E 240은 중형 반도체 제조 어플리케이션을 위해 특별히 설계된 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 탁월한 균일성과 입자 제어를 통해 빠르고 비용 효율적인 웨이퍼 처리를 제공합니다. E 240은 단단한 스테인리스 스틸 베이스에 장착 된 온도 조절, 수직 지향, 수평로 챔버로 구성됩니다. 챔버에는 열 절연 합금 벽과 문이 있습니다. 환형 SiC 난방 요소는 사이드로 다이 캐스트 (die-cast) 되는 반면, 내화 염기선은 높은 열 균일성을 보장합니다. 전체 챔버는 진공 밀폐되어 입자가없는 환경을 보장합니다. 용광로 도어 (furnace door) 는 제어 장비와 전자적으로 연결되어 있으며, 작동 중 최대 안전성을 보장하며, 광범위한 제어 기능을 제공합니다. 이 시스템은 또한 열 폭주, 공정 오버 슈트 및 오버 템프를 방어하는 전자 자가 보호 장치 (electronic self-protection device) 를 갖추고 있습니다. 챔버 벽 (chamber wall) 의 낮은 열 질량은 빠르고 효율적인 램프 속도를 가능하게하며, 일부 응용 프로그램의 경우 프로세스 시간을 3 분으로 줄입니다. 정확한 온도 제어는 웨이퍼 수준에서 +/-1degC 온도 균일성을 사용하여 균일하고 반복 가능한 처리를 가능하게합니다. 새로운 고효율 퍼지 (purge) 장치는 빠른 열 주기 시간과 균일하게 낮은 산소 수준을 제공합니다. 프로세스 시간이 현저하게 단축되고 TCO (총소유비용) 가 적어 CENTROTHERM E 240을 구입해야 합니다. E 240의 고급 제어기 (Advanced Control Machine) 는 여러 프로그램 단계, 단일 및 그룹 실행, 지역화된 가열, 각 단계에서 사용자 정의 유지 시간을 통한 냉각 등 다양한 정교한 제어 모드를 제공합니다. 선명하고 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 운영을 더욱 단순화하고, 도구가 정확히 무엇을 하고 있는지 아는 안심의 평화를 제공합니다. 또한 CENTROTHERM E 240에는 프로그래밍 가능한 웨이퍼 홀더, 쿼츠 보트 및 웨이퍼 플레이트, 온도 센서, 압력 탭 및 배기 밸브와 같은 광범위한 액세서리가 제공됩니다. 이러한 구성요소는 모두 최고 수준의 전체 성능을 보장하고 유지 관리합니다. E 240은 중간 규모 및 대용량 반도체 제작 프로세스에 이상적인 선택입니다. 빠른 주기 (cycle time), 뛰어난 온도 조절 및 뛰어난 입자 제어 (particle control) 기능을 제공하며, 운영 용이성과 낮은 소유 비용 (TCO) 으로 모든 생산 환경에서 소유권이 매력적입니다.