판매용 중고 CENTROTHERM E 240 #163732

CENTROTHERM E 240은 반도체 제조를 위해 설계된 확산 로입니다. 열 산화, 가스상 표면 활성화 및 반도체 층의 간 분화를 단일 주기로 결합합니다. 사용자 친화적이고 모듈식 설계를 통해 주기가 짧고 프로세스 제어가 매우 간편합니다. 용광로는 문자로 밀봉 된 석영 밀폐 된 핫 존으로 구성되며, 최대 작동 온도는 1250 ° C입니다. 고급 프로세스 제어 장치 (advanced process control instruments) 와 자동 로드/언로드 시스템이 장착되어 있습니다. 주 용광로 외에도, E 240에는 기판 표면 활성화, 가스 분포 및 온도 조절을위한 많은 특수 도구 및 액세서리가 포함되어 있습니다. 여기에는 고속 가스 전달 펌프, 고정밀 가스 계량, 다중 가스 분배 매니 폴드 및 고급 가스 흐름 컨트롤러가 포함됩니다. 이 용광로에는 온도 초과 경보 (over-temperature alarm), 비상 정지 (emergency stop) 기능, 극심한 온도 변화에 대비해 핫 존 (hot zone) 을 확보하는 자동 종료 기능 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 자동 로드 및 언로드 시스템 (automated loading and unloading system) 은 사용자 정의 매개변수에서 연속적으로 작동하도록 설정할 수 있습니다. 빠른 주기 시간과 온도 균일성은 거의 완벽한 작동 및 결과를 보장합니다. CENTROTHERM E 240은 대용량 생산 및 제품 개발에도 적합합니다. 프로세스 자동화 수준 향상, 대용량 내부 부피 및 효율적인 가스 공급 (gas supply) 은 높은 제품 처리량 및 수익률을 보장합니다. 구성 가능한 프로세스 모니터링과 함께 자동 로드/언로드 시스템 (Automated Loading and Unloading System) 을 사용하면 다운타임을 최소화하면서 예측 가능한 운영 일정을 유지할 수 있습니다. 요약하자면, E 240은 사용자에게 최고의 안정성과 제어를 제공하여 고성능 생산성을 제공합니다. 모듈식 (Modular) 설계를 통해 개별 프로세스 요구 사항에 맞게 조정할 수 있으며, 비용 대비 효과가 높은 확산 로 (Diffusion Furnace) 솔루션을 제공합니다. 세계 최고의 기술 기업 중 상당수는 중요한 확산 프로세스에 대해 CENTROTHERM E 240을 신뢰합니다.