판매용 중고 CENTROTHERM E 240 / Euro 2000 #104065

ID: 104065
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 1988
Horizontal diffusion furnace, 4" Specifications: Wafer size: 4" Can be converted to 6" with cantelever loading system, software adjustable Power: 384kW ID tubes: 155 to 160 mm C, D, E, R stacks (16 FUR.) Temperature range: 400°C to 1200°C CENTROTHERM controller Gas cabinet with MFCs, exhaust facility Soft-landing system for loading and unloading wafer under laminar Process configuration: (4) stacks x (4) tubes E stack: E1: sinter/anneal Gases: H2 / N2 MFC capacity: 10slm N2, 2slm H2 E2: sinter/anneal Gases: H2 / N2 MFC capacity: 10slm N2, 2slm H2 E3: Pyro oxidation with TCA Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2) MFC capacity: 10slm N2, 55slm O2, 10slm H2, 500sccm N2 (source) E4: Pyro oxidation with TCA Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2) MFC capacity: 10slm N2, 10slm O2, 10slm H2, 999sccm N2 (source) F stack: F1: Pyro oxidation with TCA Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2) MFC capacity: 10slm N2, 5slm O2, 10slm H2, 500sccm N2 (source) F2: Pyro oxidation with TCA Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2) MFC capacity: 10slm N2, 5slm O2, 10slm H2, 500sccm N2 (source) F3: Pyro oxidation with TCA Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2) MFC capacity: 10slm N2, 5slm O2, 10slm H2, 999sccm N2 (source) F4: Pyro oxidation with TCA Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2) MFC capacity: 10slm N2, 5slm O2, 10slm H2, 999sccm N2 (source) C stack: C1: N-type doping using POCl3 Gases: N2 / O2 / POCl3 (source N2) MFC capacity: 10slm N2, 1000sccm O2, 999sccm N2 (source) C2: N-type doping using POCl3 Gases: N2 / O2 / POCl3 (source N2) MFC capacity: 10slm N2, 500sccm O2, 999sccm N2 (source) C3: N-type doping using POCl3 Gases: N2 / O2 / POCl3 (source N2) MFC capacity: 10slm N2, 999sccm O2, 999sccm N2 (source) C4: Al alloy Gases: O2 / N2 MFC capacity: 999slm N2, 5slm O2, 2slm H2, 500sccm N2 (source) D stack: D1: Pyro oxidation with TCA Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2) MFC capacity: 10slm N2, 5slm O2, 10slm H2, 999sccm N2 (source) D2: Doping with spin-on dopant / anneal / sinter Gases: N2 / O2 MFC capacity: 10slm N2, 999sccm O2 D3: Doping with spin-on dopant / anneal / sinter Gases: N2 / O2 MFC capacity: 10slm N2, 1slm O2 D4: Doping with spin-on dopant / anneal / sinter Gases: N2 / O2 MFC capacity: 10slm N2, 1000sccm O2 Old furnace: #22: Thick Al alloy Gases: O2 / N2 Rotameter capacity: 150CD N2, 150CD O2 #23: N-type doping using POCL3 Gases: O2 / N2 / N2(S) Rotameter capacity: 150CD N2, 150CD O2, 150CD N2 (source) #24: Gold drive Gases: O2 / N2 Rotameter capacity: 150CD N2, 150CD O2 Spares inventory: Furnace: STC / TCU interconnecting cable (Qty 5) THERMOWELL oil units (Qty 2) CU406 SCPB 40 DGT display boards (Qty 2) Magnetic coupling EXT grade wire: OMEGA RS-20-100 Thermocouple extension wire, 250' (Qty 67) Thermocouple connectors: Omega GMP-R/S M (Qty 80) Thermocouple connectors: Omega GMP-R/S F (Qty 17) Grounded mini connectors: RS M (Qty 29) Grounded mini connectors: RS F (Qty 3) Custom heavy gauge diffusion cartridges: AD-1419 Cartridge 2-pole gold plated contact: SW142G-10-B 2-pole gold plated contact: SW142G-10-M Set switch gold plated contact: OSWG3-10 TOL-O-MATIC cable cylinder (Aluminum tube): CC 10 SK 70 (Qty 3) Thermocouple panel meters, 230V: Omega DP 41 - TC 230 Thermocouple and fine wire welder: TL-WELD 230VAC (Qty 4) Reference junction thermostats, VT60: 1018 Paddle belt, 12m MFCs: (Qty 4) MFC: COASTAL H2: 10 SLM UFC-1100A MFC: COASTAL O2: 500 SCCM UFC-1100A MFC: COASTAL O2: 1 SLM UFC-1100A (Qty 2) MFC: COASTAL O2: 5 SLM UFC-1100A (Qty 2) MFC: COASTAL N2: 10 SLM UFC-1100N (Qty 2) MFC: COASTAL N2: 999 SCCM UFC-1100A MFC: COASTAL SiH4: 500 SCCM FC-260 MFC: COASTAL NH3: 3 SLM FC-260 (Qty 3) MFC: MYKROLIS O2: 500 SCCM FC-2900V MFC: MYKROLIS O2: 1000 SCCM FC-2900V MFC: MYKROLIS N2: 1000 SCCM FC-2900V (Qty 2) MFC: MYKROLIS H2: 10 SLM FC-2900V (Qty 2) Cards Lag 03: p/n 001112 Display card: p/n 001022 Card: p/n 001824 Locals: Teflon coated wire, 2-core: 20m (Qty 3) FESTO cylinders: p/n DGS-25-50-PPV-A (Qty 3) FESTO cylinders: 10 bar (Qty 15) FESTO sensors (Qty 4) Solenoids (Qty 6) Batteries, 3.3V (Qty 400) Miscellaneous ICS: EEPROMS, Digital ICS, reg and microprocessor Quartzware: (Qty 7) Tubes, 2,150 mm (161 mm dia) TESLA: DQ4-39 (Qty 6) Tubes, 2,150 mm (155 mm dia) TESLA: DQ4-09 THERMCO tube, 1,840 mm: DQ4-15 (Qty 10) TESLA cross slotted boats: DQ4-20 THERMCO cross slotted boat: DQ4: 01 (Qty 6) Hydrox quartz balloons: DQ4-05 Thermocouple sheath, outer: DQ4-11 (Qty 2) White elephants: DQ4-17 (Qty 3) Inverted boats: 92 slots: DQ4-34B (Qty 31) Inverted boats: 84 slots: DQ4-34A (Qty 2) Boat holders: DQ4-18 (Qty 12) Injectors: DQ4-04 (Qty 2) Adaptors: DQ4-08 (Qty 3) Baffles: DQ4-12 (Qty 4) Paddles: DQ4-03 (Qty 3) End caps: DQ4-16 (Qty 10) Discs: DQ4-37 (Qty 3) Push rods: DQ4-09 (Qty 2) Plugs: DQ4-26 (Qty 5) Thermocouple sheaths, inner: DQ4-41 (Qty 3) Quartz ladders: DQ4-32 Thermocouple, p/n 101 4T-720-R-020 Facility requirements: Electrical: 440VAC, 3-phase, 50/60Hz, 24kW maximum for single furnace Cold water: 60 PSI, 15°C to 20°C Air: 40 PSI O2, H2, N2: 40 PSI Exhaust 1988 vintage.
CENTROTHERM E 240/Euro 2000 확산 로는 혁신적인 구성과 다용도, 신뢰할 수 있는 작동으로 최고 수준의 성능을 제공합니다. 이 현대식 확산 로 는 100 "와트 '가열" 요소' 의 견고 한 힘 과 온도 조절 을 위한 온도 "센서 '의 감도 를 결합 시킨다. 고급 기능으로는 손쉽게 사용할 수 있는 터치 컨트롤 (Touch Control), 실시간 온도 값을 읽기 위한 디지털 디스플레이 (Digital Display), 프로세스 보고서 생성, 여러 장치 제어, Zone 구성과 같은 일상적인 작업을 수행할 수 있는 친숙한 소프트웨어 (User-Friendly Software) 등이 있습니다. E 240/Euro 2000 확산 로는 최적의 열 전달 및 온도 안정성을 위해 이중 벽 캐스케이드 및 이동 가능한 핫존 스팟을 사용합니다. 다양한 방식으로, 다양한 가변 플럭스 (flux) 요소와 핫존 스팟 (hot zone spot) 구성을 통해 균일 한 열 분포를 조정할 수 있습니다. 또한 온도 조절 (Temperature control) 을 위한 효율적인 냉각 시스템, 환경을 완벽하게 제어하는 고급 진공 기술, 에너지 효율을 극대화하는 고품질 단열재가 있습니다. 용광로에는 3 상 전원 변환, 조정 가능한 파일럿 및 통합 안전 스위치가 장착되어 있습니다. 조정 가능한 균일 성, 빠르게 조절 가능한 핫스팟, 캐리어 가스의 조절 가능한 흐름 경로가 특징입니다. 조정 가능한 동적 프로세스 창을 통해 CENTROTHERM E 240/Euro 2000은 증착 프로세스를 완벽하게 제어합니다. 통합 모션 컨트롤 플랫폼과 로드 락 (load lock) 을 통해 사용자는 최대 32 개의 프로그램을 각각 600 단계로 프로그래밍하고 저장할 수 있습니다. E 240/Euro 2000은 샘플 프리 트리트먼트 챔버, 프로그래밍 가능한 자동 소형 부품 피더, 어닐링 및 리컨디셔닝 트레이, 맞춤형 설계 도구 어레이 등 다양한 액세서리를 제공합니다. 이 액세서리를 사용하면 용광로 (Rnace) 시스템을 특정 요구 사항에 맞게 완벽하게 조정할 수 있으며, 공정 챔버 (Process Chamber) 의 설계와 빌드 (Build) 와 예상 기능을 완벽하게 일치시킬 수 있습니다. 마지막으로, CENTROTHERM E 240/Euro 2000 확산 로는 가동 시간과 안정성을 극대화하기 위해 설계되었으며, 따라서 사용자는 용광로 성능에 대한 자신감을 유지할 수 있습니다. 견고한 시공과 강화된 클래딩 (cladding) 은 민감한 작업부품을 보호하는 데 도움이 되고, 낮은 유지 보수 (maintenance) 시공은 다운타임을 줄여 생산성과 수익성을 향상시킵니다.
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