판매용 중고 CENTROTHERM E 240 / Euro 2000 #104065
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ID: 104065
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 1988
Horizontal diffusion furnace, 4"
Specifications:
Wafer size: 4"
Can be converted to 6" with cantelever loading system, software adjustable
Power: 384kW
ID tubes: 155 to 160 mm
C, D, E, R stacks (16 FUR.)
Temperature range: 400°C to 1200°C
CENTROTHERM controller
Gas cabinet with MFCs, exhaust facility
Soft-landing system for loading and unloading wafer under laminar
Process configuration: (4) stacks x (4) tubes
E stack:
E1: sinter/anneal
Gases: H2 / N2
MFC capacity: 10slm N2, 2slm H2
E2: sinter/anneal
Gases: H2 / N2
MFC capacity: 10slm N2, 2slm H2
E3: Pyro oxidation with TCA
Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 55slm O2, 10slm H2, 500sccm N2 (source)
E4: Pyro oxidation with TCA
Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 10slm O2, 10slm H2, 999sccm N2 (source)
F stack:
F1: Pyro oxidation with TCA
Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 5slm O2, 10slm H2, 500sccm N2 (source)
F2: Pyro oxidation with TCA
Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 5slm O2, 10slm H2, 500sccm N2 (source)
F3: Pyro oxidation with TCA
Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 5slm O2, 10slm H2, 999sccm N2 (source)
F4: Pyro oxidation with TCA
Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 5slm O2, 10slm H2, 999sccm N2 (source)
C stack:
C1: N-type doping using POCl3
Gases: N2 / O2 / POCl3 (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 1000sccm O2, 999sccm N2 (source)
C2: N-type doping using POCl3
Gases: N2 / O2 / POCl3 (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 500sccm O2, 999sccm N2 (source)
C3: N-type doping using POCl3
Gases: N2 / O2 / POCl3 (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 999sccm O2, 999sccm N2 (source)
C4: Al alloy
Gases: O2 / N2
MFC capacity: 999slm N2, 5slm O2, 2slm H2, 500sccm N2 (source)
D stack:
D1: Pyro oxidation with TCA
Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 5slm O2, 10slm H2, 999sccm N2 (source)
D2: Doping with spin-on dopant / anneal / sinter
Gases: N2 / O2
MFC capacity: 10slm N2, 999sccm O2
D3: Doping with spin-on dopant / anneal / sinter
Gases: N2 / O2
MFC capacity: 10slm N2, 1slm O2
D4: Doping with spin-on dopant / anneal / sinter
Gases: N2 / O2
MFC capacity: 10slm N2, 1000sccm O2
Old furnace:
#22: Thick Al alloy
Gases: O2 / N2
Rotameter capacity: 150CD N2, 150CD O2
#23: N-type doping using POCL3
Gases: O2 / N2 / N2(S)
Rotameter capacity: 150CD N2, 150CD O2, 150CD N2 (source)
#24: Gold drive
Gases: O2 / N2
Rotameter capacity: 150CD N2, 150CD O2
Spares inventory:
Furnace:
STC / TCU interconnecting cable
(Qty 5) THERMOWELL oil units
(Qty 2) CU406 SCPB 40 DGT display boards
(Qty 2) Magnetic coupling
EXT grade wire: OMEGA RS-20-100
Thermocouple extension wire, 250'
(Qty 67) Thermocouple connectors: Omega GMP-R/S M
(Qty 80) Thermocouple connectors: Omega GMP-R/S F
(Qty 17) Grounded mini connectors: RS M
(Qty 29) Grounded mini connectors: RS F
(Qty 3) Custom heavy gauge diffusion cartridges: AD-1419
Cartridge
2-pole gold plated contact: SW142G-10-B
2-pole gold plated contact: SW142G-10-M
Set switch gold plated contact: OSWG3-10
TOL-O-MATIC cable cylinder (Aluminum tube): CC 10 SK 70
(Qty 3) Thermocouple panel meters, 230V: Omega DP 41 - TC 230
Thermocouple and fine wire welder: TL-WELD 230VAC
(Qty 4) Reference junction thermostats, VT60: 1018
Paddle belt, 12m
MFCs:
(Qty 4) MFC: COASTAL H2: 10 SLM UFC-1100A
MFC: COASTAL O2: 500 SCCM UFC-1100A
MFC: COASTAL O2: 1 SLM UFC-1100A
(Qty 2) MFC: COASTAL O2: 5 SLM UFC-1100A
(Qty 2) MFC: COASTAL N2: 10 SLM UFC-1100N
(Qty 2) MFC: COASTAL N2: 999 SCCM UFC-1100A
MFC: COASTAL SiH4: 500 SCCM FC-260
MFC: COASTAL NH3: 3 SLM FC-260
(Qty 3) MFC: MYKROLIS O2: 500 SCCM FC-2900V
MFC: MYKROLIS O2: 1000 SCCM FC-2900V
MFC: MYKROLIS N2: 1000 SCCM FC-2900V
(Qty 2) MFC: MYKROLIS H2: 10 SLM FC-2900V
(Qty 2) Cards Lag 03: p/n 001112
Display card: p/n 001022
Card: p/n 001824
Locals:
Teflon coated wire, 2-core: 20m
(Qty 3) FESTO cylinders: p/n DGS-25-50-PPV-A
(Qty 3) FESTO cylinders: 10 bar
(Qty 15) FESTO sensors
(Qty 4) Solenoids
(Qty 6) Batteries, 3.3V
(Qty 400) Miscellaneous ICS: EEPROMS, Digital ICS, reg and microprocessor
Quartzware:
(Qty 7) Tubes, 2,150 mm (161 mm dia) TESLA: DQ4-39
(Qty 6) Tubes, 2,150 mm (155 mm dia) TESLA: DQ4-09
THERMCO tube, 1,840 mm: DQ4-15
(Qty 10) TESLA cross slotted boats: DQ4-20
THERMCO cross slotted boat: DQ4: 01
(Qty 6) Hydrox quartz balloons: DQ4-05
Thermocouple sheath, outer: DQ4-11
(Qty 2) White elephants: DQ4-17
(Qty 3) Inverted boats: 92 slots: DQ4-34B
(Qty 31) Inverted boats: 84 slots: DQ4-34A
(Qty 2) Boat holders: DQ4-18
(Qty 12) Injectors: DQ4-04
(Qty 2) Adaptors: DQ4-08
(Qty 3) Baffles: DQ4-12
(Qty 4) Paddles: DQ4-03
(Qty 3) End caps: DQ4-16
(Qty 10) Discs: DQ4-37
(Qty 3) Push rods: DQ4-09
(Qty 2) Plugs: DQ4-26
(Qty 5) Thermocouple sheaths, inner: DQ4-41
(Qty 3) Quartz ladders: DQ4-32
Thermocouple, p/n 101 4T-720-R-020
Facility requirements:
Electrical: 440VAC, 3-phase, 50/60Hz, 24kW maximum for single furnace
Cold water: 60 PSI, 15°C to 20°C
Air: 40 PSI
O2, H2, N2: 40 PSI
Exhaust
1988 vintage.
CENTROTHERM E 240/Euro 2000 확산 로는 혁신적인 구성과 다용도, 신뢰할 수 있는 작동으로 최고 수준의 성능을 제공합니다. 이 현대식 확산 로 는 100 "와트 '가열" 요소' 의 견고 한 힘 과 온도 조절 을 위한 온도 "센서 '의 감도 를 결합 시킨다. 고급 기능으로는 손쉽게 사용할 수 있는 터치 컨트롤 (Touch Control), 실시간 온도 값을 읽기 위한 디지털 디스플레이 (Digital Display), 프로세스 보고서 생성, 여러 장치 제어, Zone 구성과 같은 일상적인 작업을 수행할 수 있는 친숙한 소프트웨어 (User-Friendly Software) 등이 있습니다. E 240/Euro 2000 확산 로는 최적의 열 전달 및 온도 안정성을 위해 이중 벽 캐스케이드 및 이동 가능한 핫존 스팟을 사용합니다. 다양한 방식으로, 다양한 가변 플럭스 (flux) 요소와 핫존 스팟 (hot zone spot) 구성을 통해 균일 한 열 분포를 조정할 수 있습니다. 또한 온도 조절 (Temperature control) 을 위한 효율적인 냉각 시스템, 환경을 완벽하게 제어하는 고급 진공 기술, 에너지 효율을 극대화하는 고품질 단열재가 있습니다. 용광로에는 3 상 전원 변환, 조정 가능한 파일럿 및 통합 안전 스위치가 장착되어 있습니다. 조정 가능한 균일 성, 빠르게 조절 가능한 핫스팟, 캐리어 가스의 조절 가능한 흐름 경로가 특징입니다. 조정 가능한 동적 프로세스 창을 통해 CENTROTHERM E 240/Euro 2000은 증착 프로세스를 완벽하게 제어합니다. 통합 모션 컨트롤 플랫폼과 로드 락 (load lock) 을 통해 사용자는 최대 32 개의 프로그램을 각각 600 단계로 프로그래밍하고 저장할 수 있습니다. E 240/Euro 2000은 샘플 프리 트리트먼트 챔버, 프로그래밍 가능한 자동 소형 부품 피더, 어닐링 및 리컨디셔닝 트레이, 맞춤형 설계 도구 어레이 등 다양한 액세서리를 제공합니다. 이 액세서리를 사용하면 용광로 (Rnace) 시스템을 특정 요구 사항에 맞게 완벽하게 조정할 수 있으며, 공정 챔버 (Process Chamber) 의 설계와 빌드 (Build) 와 예상 기능을 완벽하게 일치시킬 수 있습니다. 마지막으로, CENTROTHERM E 240/Euro 2000 확산 로는 가동 시간과 안정성을 극대화하기 위해 설계되었으며, 따라서 사용자는 용광로 성능에 대한 자신감을 유지할 수 있습니다. 견고한 시공과 강화된 클래딩 (cladding) 은 민감한 작업부품을 보호하는 데 도움이 되고, 낮은 유지 보수 (maintenance) 시공은 다운타임을 줄여 생산성과 수익성을 향상시킵니다.
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