판매용 중고 CENTROTHERM Centronic E1200 HT260-3 #65626
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ID: 65626
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2001
LPCVD diffusion furnace, 6”
3-Stack
Set up for: nitride, low-temperature oxide, and insitu low-temperature poly
Toxic gas exhaust
Control cabinet
Gas cabinet
(2) Quartz tubes
Spare parts
CE Marked
3rd position configured with heaters, no tubes
Internal diameter of the quartz tube: ~245mm (9-5/8")
Software:
IBM OS/2 warp V4 OEM preload
IBM Assy for PC ASS UK media pack WAR 0400 P/N: 65H1169A
Spare parts included in several boxes:
Flanges
Fittings
Parts for assembly of the system
Additional items available :
Ammonia purifier system (this may be part of the furnace system as the drawing does show a scavenger)
(2) Edwards Q61-51-006 dry pumps
Used Air products gas guard cabinets for:
Dichlorosilane (2 bottles + N2)
Silane (2 bottles + N2)
Ammonia (2 bottles + N2)
5% Phosphine & Nitrogen (2 bottles + N2).
No loading system
No Computer
No vacuum pumps
48 kW, 0 A, 50 Hz
Crated
2001 vintage.
CENTROTHERM Centronic E1200 HT260-3은 원활하고 효율적이며 안정적인 작동을 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 용광로는 성능을 극대화하기 위해 고급 재료로 제작 된 몰리브덴 난방 요소를 특징으로합니다. 이로써, 긴 작동 수명 및, 처리되는 모든 기판에 대해 일관되고 균일한 온도가 보장됩니다. 센트로닉 E1200 (Centronic E1200) 은 빠르고 효율적인 냉각 속도를 보장하여 에너지 소비를 줄이고 모든 적외선 프로세스의 효율성을 높입니다. 단 30 분 만에 최대 난방 온도 1350 ° C에 도달 할 수 있으며, 최대 램프 속도는 분당 8 ° C로, 빠르고 정밀하게 온도가 증가하거나 감소합니다. 센트로닉 (Centronic) E1200 HT260-3은 설치 공간이 매우 작으며 공간 효율성이 높아 거의 모든 환경에 적합합니다. 용광로에는 비활성 핫 존 (hot zone) 이 장착되어 있으며 유해 가스 및 매체를 처리하는 데 적합합니다. 2 피스 진공 도어 (vacuum sealed door) 를 지원하며 모든 입자와 오염 물질을 제거하여 매번 높은 품질과 깨끗한 기판을 보장하는 우수한 여과 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 센트로닉 (Centronic) 은 사용자에게 친숙한 통합 포인트 투 포인트 (Point-to-Point) 컨트롤러를 갖추고 있으며 수동으로 제어할 수 있으므로 온보드 터치 스크린 인터페이스를 통해 쉽게 작동하고 프로그램을 실행할 수 있습니다. 이 옵션을 사용하면 각기 다른 목표 온도, 시간 (time) 을 설정할 수 있으며, 일관된 복제를 위해 프로세스를 추적하는 데 사용할 수 있습니다. 이 용광로 (Furnace) 에는 다양한 냉각 및 배기 (Exhaust) 시스템과 같은 여러 장치와 액세서리에 연결할 수있는 유연한 포팅 시스템 (Flexible Porting System) 이 있어 공정 중에 소진된 매연의 안전하고 적절한 폐기를 보장합니다. 또한 다양한 전원 공급 장치 (Power Source) 와 연계되며 불필요한 에너지 소비를 줄일 수 있습니다. 강력한 빌드, 뛰어난 성능, 정밀도를 갖춘 CENTROTHERM Centronic E1200 HT260-3은 다양한 기판을 확산시켜 우수한 반복성을 지닌 고품질의 재료를 위한 최적의 선택입니다. 탁월한 온도 조절 및 속도 기능으로 실험실 테스트, 처리, 생산에 적합합니다.
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