판매용 중고 CENTROTHERM Centronic E120 HT 260-4 #9060232
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CENTROTHERM Centronic E120 HT 260-4는 화학적 증기 증착을 통해 고품질 세라믹 부품을 생산하고 처리하여 성능을 최적화하는 데 사용되는 확산 용광로 및 액세서리입니다. 까다로운 반도체 및 특수 장치를 위한 2D 및 3D 칩 구성, 게이트, 연락처, 렌즈, 박막 유전체 및 마이크로파 패시브를 만드는 데 이상적인 도구입니다. 센트로닉 (Centronic) 의 최적화된 열 제어 영역은 고성능 존 (zone) 과 저온 존 (zone) 으로 구성되며 정밀 열 장벽으로 분리됩니다. 실리콘 카바이드 (SiC) 저항 가열 요소와 슬라이딩 후드 (sliding hood) 를 특징으로하여 강착 물질을 정확하게 조정하기 위해 활발한 산화 및 환원주기를 수행합니다. 온도 프로파일은 +/- 1 ° C의 정밀도로 최대 1000 ° C까지 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한, 퍼니스의 핫 존 볼륨은 50 리터이며, 서셉터에 의해 흡수 될 수있는 최대 중량은 100kg입니다. 센트로닉 (Centronic) 의 컨트롤러와 소프트웨어를 사용하면 가스 흐름 속도, 챔버 압력 (Chamber Pressure), EI (Susceptor Temperature), 랙 변환 (Rack Translation) 등 모든 사이클 동안 모든 매개변수에 대한 완전한 디지털 모니터링이 가능합니다. 이 장비에는 감지기 및 용광로 구성 요소의 온도를 모니터링, 문서화 및 관리하기 위한 ATC (Adaptive Thermal Control System) 가 포함되어 있어 모든 프로세스 동안 정확성과 일관성을 보장합니다. 퍼니스는 가공하는 동안 반응물을 공급하기위한 내부 기화기 (in-situ vaporizer) 를 포함하여 통합 가스 공급 유통 및 저장 장치를 제공합니다. 이 기계는 밸브, 프로그래밍 가능한 흐름 라인, 대피 기능을 갖추고 있어 누출을 방지하고 효율성을 최적화합니다. 안전성을 보장하기 위해 CENTROTHERM은 긴급 정지 버튼, 진공 스위치, 가스켓 도어 인감 (gasketed door seal) 을 사용하여 양성 인감을 단단히 해줍니다. 또한, 여러 도구 구성을 사용하여 다양한 응용 프로그램에 대한 구성을 지정할 수 있습니다. 센트로닉 (Centronic) 은 효율적이고 경제적인 운영을 위해 설계되었으며, 반도체 및 특수 장치 생산에 필요한 최고 수준의 결과를 제공합니다. 전반적으로 Centronic E120 HT 260-4 확산 로와 액세소리 (accessorie) 는 강력하고 신뢰성이 높은 처리 도구이며, 뛰어난 온도 조절과 고성능 세라믹 부품의 정확하고 효과적인 생산을 위한 통합 가스 공급 자산을 제공합니다.
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