판매용 중고 CENTROTHERM Activator 150 #293814126

CENTROTHERM Activator 150
ID: 293814126
웨이퍼 크기: 6"
Diffusion furnace, 6".
CENTROTHERM Activator 150 은 산업적으로 설계된 확산 로로, 공간 요구 사항을 최소화하면서 높은 처리량의 웨이퍼 처리를 용이하게 합니다. 배치 당 최대 150 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있도록 설계되었으며, 확산, 산화, 질화, 퇴치 등 다양한 응용 분야에 적합합니다. 용광로는 밀봉된 스테인레스 스틸 챔버 (stainless chamber) 로 만들어졌으며 가열 구역 길이는 50cm입니다. 또한 열적으로 분리되어 있으며 2 구역 내부 벨 모드 가열 장비 (세라믹 열 절연체가있는 존 (zone) 및 활성 가열 요소가있는 존 (zone)) 를 갖추고 있으며 균일성과 온도 조절의 정확성을 결합합니다. 용광로 내의 온도 영역의 균일성은 900 ° C에서 ± 2 ° C입니다. 고급 IR 종단점 감지 시스템 (Advanced IR End Point Detection System) 덕분에 컨트롤러는 온도를 측정하고 이를 종단점으로 사용합니다. 이는 정확한 온도 요구 사항을 최적으로 보장합니다. Activator 150에는 고급 로드/언로드 시스템이 장착되어 있어, 효율적이고 안전한 재료를 제거할 수 있습니다. 독점 Hi-Touch Xpress 로드/언로드 장치는 빠른 웨이퍼 처리에 이상적이며, 평균 약 40 초의 언로드 시간을 제공합니다. 퍼니스는 또한 안전을 염두에두고 설계되었습니다. 기계에는 능동 냉각 기술, 고급 nooxid 여과 도구 및 일산화탄소 모니터링 메커니즘이 포함됩니다. 각 자산은 최고 수준의 제품 무결성 (Product Integrity) 을 보장하면서 최대 운영자 안전 (Operator Safety) 을 제공하도록 설계되었습니다. CENTROTHERM Activator 150 은 다양한 용도로 설계된 액세서리가 지원되며, 향상된 기능과 향상된 유연성을 제공합니다. 광범위한 액세서리 (Hi-Flow Cooling Model, Glycol-Cycle Equipment 및 Cold Atmospheric Capping System 포함) 는 Activator를 사용할 수있는 응용 프로그램 범위를 확장합니다. 전반적으로, 액티베이터 150 (Activator 150) 은 다양한 재료의 산업 가공을위한 고성능 확산 로이며, 설계 중심에 안전성과 정확성이 있습니다. 산업용 (industrial grade) 장치의 견고성과 맞춤형 모션 머신 (custom-built motion machine) 의 유연성과 효율성을 결합한 것으로, 많은 업계의 제조업체에게 이상적인 선택입니다.
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