판매용 중고 CENTROTHERM 5 #184929

CENTROTHERM 5는 반도체 및 전자 산업의 산업 응용 프로그램을 처리하는 데 사용되는 확산 용광로 및 액세서리 패키지입니다. 이 장비에는 인라인 가스 패널, 전달 로봇, 비활성 가스 패널 및 고압 확산이 있습니다. 인라인 가스 패널은 최대 8 개의 다른 가스의 제어 흐름을 허용합니다. 이 "가스 '" 패널' 은 거대 한 다이내믹 레인지 '로 일관성 있는 "가스' 압력 을 유지 하도록 설계 되었다. 또한, 패널은 후방 압력의 위험없이 흐름 보증을 허용합니다. "로봇 '은 비활성" 가스' 를 사용 하여 최대 4 가지 재료 를 입금 할 수 있는 전달 "시스템 '을 제공 한다. 로봇은 최대 정확도와 정확도를 제어하도록 설계되었습니다. 로봇에는 고정밀 증착을 보장하기 위해 온보드 비전 유닛이 장착되어 있습니다. 비활성 가스 패널은 고압 확산 시스템의 비 반응성 대기를 보장하도록 설계되었습니다. 이 "패널 '은" 가스' 혼합 의 공통 원소 의 비율 을 조절 함 으로써 용광로 의 작동 에 대한 믿을 만한 "가스 '장벽 을 제공 할 수 있다. 고압 확산의 경우, 5에는 진공 튜브 (vacuum tube) 가 장착되어 최대 1500mbar의 공정 압력을 제어 할 수 있습니다. 이 기계에는 격리 및 저수지 관리를위한 일련의 열린 영역이 있습니다. 또한 다양한 액세서리 (옵션) 를 제공하여 도구의 유연성을 높일 수 있습니다. 프로세스 제어 및 안전을 보장하기 위해 CENTROTHERM 5는 모니터링 시스템과 통합되어 있습니다. 모니터링 시스템에는 온도 컨트롤러 (temperature controller) 와 열 프로파일 관리 자산 (thermal profile management asset) 이 포함되어 있어 전체 확산 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 이 모델에는 전체 장비에 대한 실시간 데이터를 제공하는 ST-Watch 인터페이스도 있습니다. 5 는 반도체· 전자산업에서 신뢰성이 높은 처리 (processing) 애플리케이션을 위한 이상적인 확산로· 액세서리 패키지다. 이 시스템은 매우 정밀하고 일관된 결과를 처리할 수 있는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 프로세스 매개변수를 관리하고 제어하는 기능을 갖춘 CENTROTHERM 5 (CENTROTHERM 5) 는 사용자에게 해당 산업 애플리케이션의 안정적인 결과를 제공할 수 있습니다.