판매용 중고 BRUCE / BTU BDF-4 #9245270
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ID: 9245270
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1984
Oxidation / Diffusion furnaces, 6"
4-Stacks
Right to left
In-line style source cabinet
Spare parts included
Stainless steel exhaust scavenger
Stainless steel gas manifolds
With regulators
Filters
Manual valves
Gases:
N2 30 SLM UFC 2000
H2 40 SLM UFC 2000
O2 20 SLM UFC 2000
HCL 2 SLM UFC 2000
Ar 30 SLM UFC 1000
O2 5 SLM UFC 1000
Connected load: ~ 96 kVA at 480 VAC
Supply voltage: 440/480 VAC, 60 Hz, 3 Phase
1984 vintage.
BRUCE/BTU BDF-4는 연구 및 개발, 생산 등 다양한 작업을 위해 설계된 고급 자동 확산 로입니다. 확산 용광로 (Diffusion furnaces) 는 각 특정 응용 프로그램에 특정한 마무리 두께의 솔리드 서피스를 생성하는 데 사용됩니다. BTU BDF-4의 특정 설계 및 구성은 특히 수많은 분산, 난방, 냉각 및 기타 프로세스가 필요한 생산 시퀀스에 적합합니다. BRUCE BDF-4는 최대 2000 ° C의 온도를 균등하게 분배하도록 설계된 진공 밀봉 챔버를 갖추고 있습니다. 이 분포를 사용하면 매번 최적의 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 용광로에는 흐름, 온도, 압력 등 여러 프로세스 변수를 측정하는 통합 계측기 (integrated instrumentation) 가 포함되어 있으며 반복 가능한 결과를 위한 자동 제어 기능을 제공합니다. BDF-4는 알루미늄, 스테인리스 스틸, 텅스텐 등 다양한 기판을 처리하도록 설계되었습니다. 특히, 확산 용광로 는 진공 또는 산소 대기 의 사용 을 통하여 불순물 을 감소 시키도록 설계 되었다. 뿐 만 아니라, 용광로 는 "세라믹 '과" 반도체' 기판 을 효율적 으로 가공 할 수 있도록 설계 되어 있어서 여러 가지 응용 에 적합 하다. BRUCE/BTU BDF-4에는 고객 생산 요구 사항을 충족하는 여러 맞춤형 액세서리도 포함되어 있습니다. 이 용광로 는 자성 "클램프 '(magnetic clamps) 를 지닌 것 으로, 기판 을 손쉽게 보유 할 수 있으며, 생산 과정 의 균일성 과 신뢰성 을 향상 시킨다. 또한, 용광로에는 침입 예방을위한 패스 스루 도어 (pass-through door) 및 안전 조회를위한 이중 이미징 쿼츠 창문과 같은 안전 기능이 포함되어 있습니다. 마지막으로 BTU BDF-4는 21 CFR Part 11 규정 준수를 지원하는 GUI 소프트웨어가 포함된 PLC/PC 시스템으로 구동됩니다. 이 소프트웨어는 표준 프로세스를 단순화하고 보다 복잡한 운영 순서를 자동화할 수 있도록 설계되었습니다. 이를 통해 운영 효율성과 반복 가능성을 향상시킬 수 있습니다. 또한 PLC/PC 시스템에는 여러 국가의 사용자를 용이하게하는 여러 언어 옵션이 있습니다. 전반적으로 브루스 BDF-4 (BRUCE BDF-4) 는 프로세스 균일성을 제공하고 다양한 기판을 제어하는 고급 자동 확산 로입니다. 통합 계측, 맞춤형 액세서리 및 PLC/PC 시스템은 확산 프로세스를 포괄적으로 제어하고 운영 효율성을 향상시킵니다.
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