판매용 중고 BRUCE BDF-41 #9037521
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ID: 9037521
Tube furnace
Includes:
Scavenger/furnace:
(10) Type-S Spike Thermocouples per tube level
Individual tube level scavenger boxes with damper adjustment
Cooling air exhaust bonnet
(4) Intempos temperature control modules (1 per tube level):
(2) Atmospheric standard temperature (1250º C Maximum) 5-zone heating elements
(2) LPCVD 5-zone heating elements
Load station:
(4) Heavy duty boat loaders (Model: 7680)
(4) Multi-axis saddles
(4) Atmospheric door support assemblies with quartz doors
Class 10 HLF Load station with type 2 HEPA filters
Source cabinet:
Tube level configuration:
Tube 1 (top): Open
Tube 2: Internal pyrogenic oxidation
Tube 3: LPCVD Low stress nitride
Tube 4 (bottom): Open
L-shaped gas cabinet with vertically mounted gas panels
Tube foyer with independent exhaust
Gas inlet assemblies with shutoff valve
Regular, gauge, filter and manifold drops (316 L tubing)
Micro-T weld and VCR fittings
Process gas lines configured with no tubing bends
Quartz kit for pyrogenic oxidation tubes: SiC paddle, quartz process tube, quartz door, profile T/C and 8-quartz boats per tube
Quartz kid for nitride tubes: SiC paddle, quartz process tube, profile T/C and 8-quartz boats
Control cabinet:
(4) 7355 DC Microcontrollers
(4) 7680 Boat loader control modules
7355 DCC configured with 7355X firmware
Control cabinet with casters
System alarm panel.
브루스 BDF-41 확산 퍼니스 (BRUCE BDF-41 Diffusion Furnace) 는 다양한 재료 및 응용 분야에서 확산 과정을 위해 설계된 고성능 실험로입니다. BDF-41에는 멀티 존 (multi-zone), 흑연 난방 장비 및 정확한 온도 조절을위한 효율적인 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 이것은 실험실 사용에 이상적이며, 재료의 균일 한 열 확산을 보장합니다. 용광로에는 최대 4 개의 난방 구역 (heating zone) 과 냉각 구역 (cooling zone) 이 장착되어 있어 정밀한 프로세스 제어가 가능합니다. 원하는 온도 프로파일에 대해 고유한 다중 영역 (multi-zone) 난방 장치를 조정하여 광범위한 확산 프로세스를 유연하게 만들 수 있습니다. BRUCE BDF-41은 확산 과정을 돕는 다양한 액세서리로 제작되었습니다. 예를 들어, Graphite Crucible and Holder는 확산 프로세스를 위해 깨끗하고 효율적인 플랫폼을 제공합니다. 홀더 (Holder) 와 크루 시블 (Crucible) 은 용광로에 배치되고 흑연 재료는 용광로의 열을 흡수하여 절연체 역할을합니다. 또한 Crucible and Holder에는 복사 된 열 손실을 줄이고 균일 한 열 분배를 제공하는 보호 시스 (Protective Sheath) 가 제공됩니다. BDF-41에는 용광로의 전류를 추적하는 전극 모니터 (Electrode Monitor) 가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 확산 과정 (diffusion process) 을 최적화하기 위해 용광로 내의 현재 수준을 쉽고 정확하게 조정할 수 있습니다. 또한 난방 속도 (rate of heating) 를 지속적으로 모니터링하여 각 영역의 적절한 온도를 보장합니다. BRUCE BDF-41은 인체 공학적 인터페이스와 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스로 설계되었습니다. 이 인터페이스를 통해 사용자는 온도, 챔버 압력, 가스 흐름 속도 등을 포함하여 매개변수를 매우 쉽게 제어 할 수 있습니다. 이것은 용광로를 연구 개발 실험실에 이상적으로 만듭니다. BDF-41 확산 퍼니스는 광범위한 확산 프로세스를 위해 안정적이고 효율적인 솔루션입니다. 멀티 존 (multi-zone) 머신과 조절 가능한 온도 프로파일은 다양한 어플리케이션에 유연성을 제공합니다. "액세소리 (accessorie) '는 정확한 모니터링 및 제어를 보장하는 반면, 사용하기 쉬운 인터페이스는 실험실을 위한 훌륭한 선택입니다.
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