판매용 중고 BLACKSTONE / NEY MACS-25-US-HIT #9399118

BLACKSTONE/NEY MACS-25-US-HIT는 반도체 제조 응용 프로그램을위한 고급 고 처리량 확산로 및 액세서리입니다. 퍼니스는 APCVD (Single-Wafer Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition) 화학 설비와 일관되고 안정적이며 반복 가능한 공정 결과를 제공하는 고급 재료 모니터링 시스템과 통합되어 있습니다. NEY MACS-25-US-HIT는 전체 온도 균일성과 단단한 온도 프로세스 제어를 달성 할 수있는 고온 확산 로입니다. 100 웨이퍼 배치 적재 장치와 25 ° C ~ 1250 ° C 온도 범위를 갖추고 있습니다. 동적 공정 제어 (Dynamic process control) 는 전체 과정에서 질소 및 산소 전달이 최적화되도록 보장합니다. 이 기계를 통해, 확산 프로그램은 최소한의 냉각 시간으로 연속적인 반복 가능한 방식으로 실행 될 수 있으므로, 총 주기 시간 (total cycle time) 을 줄일 수 있습니다. 퍼니스는 또한 APCVD 전달 도구와 통합됩니다. 이 자산은 화학 반응성 (chemical reactivity) 의 가변 공정 제어 및 웨이퍼 표면의 단순화 된 화학 전달을 허용합니다. 화학적 전달 모델은 고정밀 스프레이어 헤드 (Splayer head) 로 조정되어 증착 공정의 균일성과 안정성을 제공합니다. 또한, 압력 및 속도 조정 시스템은 확산 과정의 안정성을 보장하는 데 도움이됩니다. 프로세스 모니터링 측면에서 BLACKSTONE MACS-25-US-HIT에는 온도, 압력, 스트레스, RF 모니터링 및 대량 흐름 컨트롤러와 같은 다양한 프로세스 모니터가 장착되어 있습니다. 이러한 프로세스 모니터는 각 주기 (cycle) 또는 여러 주기 (multiple cycle) 간에 온도 및 압력 설정을 조정하는 데 사용되는 작동 데이터를 제공합니다. 결과적으로 프로세스 안정성과 반복성이 향상됩니다. 마지막으로, MACS-25-US-HIT에는 포괄적 인 안전 기능이 장착되어 있습니다. 압력 작동 셔터는 유지 보수 및 오픈 백 필 (open-backfill) 기간 동안 용광로를 분리하도록 설계되었으며, 전류 민감성 릴레이는 전기 충격의 위험을 줄입니다. 또한, 고온 경보, 화재 안전 장비, 저압 스위치는 모두 사용자 및 환경을 보호하는 수단으로 포함됩니다. 따라서 BLACKSTONE/NEY MACS-25-US-HIT는 확산 처리가 필요한 반도체 제조 응용 프로그램을 위해 안정적이고, 효율적이며, 안전한 프로세스 제어 솔루션을 제공합니다. 고온 균일성 (high temperity uniformity) 과 단단한 온도 제어 (tight temperature control) 와 고급 모니터링 시스템 (advanced monitoring system) 및 안전 (safety) 기능을 함께 사용하면 정확하고 반복 가능한 프로세스를 달성하기 위해 비용 효율적인 선택이 가능합니다.