판매용 중고 BLACKSTONE / NEY MACS-25-US-HIT #9227403

BLACKSTONE/NEY MACS-25-US-HIT는 정확하고 균일 한 열 분배를 제공하는 통합 난방 요소가있는 확산 로입니다. 난방, 용광로 제어 장치 및 액세서리로 구성되어 있습니다. 난방 된 챔버는 최대 25 개의 표준 크기 캐리어를 수용하도록 설계되었습니다. 이 운반자는 스퍼터링, PECVD, 이온 이식, 빠른 열 어닐링 및 산화 과정을 위해 구성 될 수 있습니다. 용광로 제어 장치를 사용하면 모든 가열 요소를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 여기에는 ± 1 ° C 정확도를 제공하는 4 개의 구성 요소 온도 컨트롤러가 있습니다. 제어 장치에는 온도 프로파일을 더 나은 프로세스 균일성을 위해 조정하는 적응형 예측 컨트롤러 (adaptive predictive controller) 기능도 포함되어 있습니다. 또한, 사용자 인터페이스는 쉽게 매개 변수 설정 및 모니터링을 가능하게 하며, 최대 20 개의 개별 레시피를 기록할 수 있습니다. NEY MACS-25-US-HIT의 액세서리에는 고공 진공 환경 조성에 사용되는 고속 터보 분자 펌프가 포함되어 있습니다. 이 가변 속도 펌프는 최대 10-6 torr의 진공을 달성 할 수 있습니다. 또한, 이 시스템에는 가열된 환경의 오염을 방지하기 위해 휘발성을 캡처하고 저장하는 콜드 트랩 (cold trap) 이 포함되어 있습니다. 손쉬운 설치를 위해 BLACKSTONE MACS-25-US-HIT는 프로세스 컨트롤러, 고속 터보 분자 펌프, 콜드 트랩, 캐리어 지원, 가스선 및 전원 연결을 포함한 필요한 모든 구성 요소와 함께 제공됩니다. 또한 단순화 된 캐리어 삽입 및 제거를위한 기계식 리프팅 메커니즘이 장착되어 있습니다. MACS-25-US-HIT 확산은 반도체 업계의 다양한 애플리케이션에 적합한 안정적이고 다양한 솔루션입니다. 정확한 온도 조절 및 균일 한 난방 기능으로 스퍼터링, PECVD, 이온 이식, 빠른 열 어닐링 및 산화와 같은 복잡한 프로세스에 적합합니다. 또한 고속 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 와 콜드 트랩 (cold trap) 을 통해 진공 및 오염이 없는 환경을 만들 수 있으며, 직관적인 사용자 인터페이스와 편리한 액세서리는 효율적이고 쉬운 작동을 촉진합니다.