판매용 중고 BENEQ TFS 200-159 #293683751
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ID: 293683751
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2012
Thermal Atomic Layer Deposition (ALD) system, 8"
(2) Heated source bottles
(4) Ambient temperature source bottles
Gases: O3, H2O, H2O2
Ozone generator
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Dry pump
Pumping speed: 100 m³/HR
No load lock
PC
2012 vintage.
BENEQ TFS 200-159 (BENEQ TFS 200-159) 는 제어 된 대기에서 다양한 재료의 고온 처리를 위해 설계된 최첨단 확산 로입니다. 이 다목적 퍼니스에는 다양한 고급 기능 (advanced features) 과 액세서리 (accessory) 가 장착되어 있어 정확하고 효율적인 열 처리 기능을 원하는 연구원, 실험실, 업계 전문가에게 최고의 선택이 가능합니다. TFS 200-159 코어에는 처리 챔버 전체에 균일 한 가열을 제공하는 고품질 가열 요소가 있습니다. 이를 통해 재료를 일관되고 안정적으로 열 처리 (thermal processing) 하여 재현 가능한 결과와 고품질 출력을 보장합니다. 난방 요소는 고온 (high-temperant) 물질로 구성되며, 광범위한 재료 처리 응용 분야에 필요한 극한의 온도를 견딜 수 있습니다. BENEQ TFS 200-159에는 고급 온도 조절 시스템 (Temperance Control System) 이 장착되어 있어 용광로 온도를 단단히 조절할 수 있습니다. 이를 통해 최적의 결과에 필요한 정확한 온도에서 재료를 처리하고, 과열 (overheating) 또는 열 손상 (thermal damage) 으로부터 민감한 재료를 보호합니다. 온도 조절 시스템 (Temperature Control System) 은 반응성이 뛰어나 다양한 처리 요구 사항을 충족할 수 있도록 빠른 가열 및 냉각 주기를 지원합니다. 정확한 온도 조절 외에도, TFS 200-159는 정교한 가스 흐름 제어 시스템 (gas flow control system) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 프로세싱 챔버 내에서 특정 가스 분위기를 만들고 유지할 수 있습니다. 이것은 도핑 (doping) 또는 어닐링 프로세스 (annealing process) 와 같은 주변 대기에 대한 정확한 제어가 필요한 재료 처리 응용 프로그램에 필수적입니다. 가스 흐름 제어 시스템 (Gas Flow Control System) 은 안정적이고 반복 가능한 결과를 위해 정확하고 일관된 가스 흐름을 제공하도록 설계되었습니다. 베네 큐 (BENEQ) TFS 200-159에는 운영자 보호 및 장비 무결성을 보장하기 위해 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 과잉 보호 메커니즘, 가스 누출 감지 시스템 (gas leakage detection system) 및 사고를 예방하고 용광로의 안전한 작동을 보장하기위한 긴급 종료 프로토콜이 포함됩니다. 이러한 안전 (Safety) 기능은 장비 안전 및 규정 준수에 대한 업계 최고의 표준을 충족하도록 설계되었습니다. TFS 200 ~ 159 의 다용도 및 기능을 향상시키기 위해 다양한 액세서리 (accessory) 를 사용하여 기능을 확장할 수 있습니다. 이러한 액세서리에는 사용자 지정 공정 튜브, 샘플 홀더, 가스 배송 시스템, 특정 재료 처리 요구 사항에 맞게 조정할 수있는 모니터링 기기가 포함됩니다. 이를 통해 사용자는 용광로 설치 (furnace setup) 를 사용자 정의하여 다양한 응용 프로그램 및 연구 요구를 수용할 수 있습니다. 전반적으로 BENEQ TFS 200-159는 최첨단 확산 로로, 정확한 온도 조절, 고급 가스 흐름 관리, 신뢰성 있고 효율적인 재료 열 처리를 위한 포괄적인 안전 기능을 제공합니다. 고품질 구성, 고급 기능, 다용도 액세서리 등을 갖춘 TFS 200 ~ 159 는 다양한 소재 처리 응용프로그램을 위한 견고하고 신뢰할 수 있는 용광로 (furnace) 를 원하는 연구원과 업계 전문가에게 가장 적합한 제품입니다.
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