판매용 중고 BEIJING L42500-4 / ZM #9145271

BEIJING L42500-4 / ZM
ID: 9145271
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2006
PECVD Furnace, 6" 2006 vintage.
BEIJING L42500-4/ZM은 대규모 실리콘 웨이퍼 재배에 사용되는 고효율 확산로 및 액세서리입니다. 이 유형의 퍼니스는 웨이퍼 및 기타 반도체 컴포넌트의 대량 생산에 이상적입니다. L42500-4/ZM은 수직 방향과 절연 석영 튜브 (quartz tube) 로 설계되어 온도 균일성과 제어가 향상되었습니다. 전력 범위는 600 W, 온도 범위는 1000 ° C - 1350 ° C입니다. 이 용광로 에는 고속 냉각 장치 가 장착 되어 있어서 냉각 시간 을 단축 하고, "웨이퍼 '와 구조 의 불완전성 을 감소 시킨다. BEIJING L42500-4/ZM은 사용성이 높으며 시간당 최대 300mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 수평 Loading/Unloading Automatic Wafer Manipulator (LAWM) 가 포함되어 있어 웨이퍼를 자동으로 로드/언로드할 수 있습니다. 전체 확산 주기 (diffusion cycle) 는 주 컨트롤러에 의해 제어 및 모니터링되며, 이 컨트롤러에는 손쉬운 작동을 위한 터치 스크린 디스플레이가 포함되어 있습니다. L42500-4/ZM은 붕소, 인, 도펀트를 실리콘 웨이퍼로 확산시키고, 이는 나중에 반도체 제조 공정에 사용될 것이다. BEIJING L42500-4/ZM은 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 온도를 초과하는 제어 시스템 (over temperature control system) 은 안전 범위 내에서 온도를 자동으로 제한하여 안전을 보장합니다. 또한, 경주 "콘덴서 '장치 는 확산" 가스' 의 불순물 을 감소 시키고 불순물 이 용광로 에 들어가지 못하게 한다. L42500-4/ZM은 고품질의 확산 로로, 일관되고 안정적인 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 전반적으로 BEIJING L42500-4/ZM 확산로 및 액세서리는 반도체 웨이퍼 및 부품의 대량 생산에 적합한 선택입니다. 고효율로 설계되었으며, 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 시간당 최대 300mm 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 1000 ° C -1350 ° C의 인상적인 온도 범위를 갖습니다. 또한 L42500-4/ZM은 웨퍼를 자동으로 로드/언로드하여 편리하게 사용할 수 있습니다.
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