판매용 중고 ASYST / PST Melitas F30VH #293668221

ASYST/PST Melitas F30VH는 정밀 웨이퍼, 다이 및 기판 처리를 가능하게하도록 설계된 고급 확산 용광로 및 액세서리입니다. F30VH (Advanced Thermocouple and Temperature Control System) 와 최적의 운영자 안전을 위해 설계된 다양한 안전 기능을 활용합니다. PST Melitas F30VH는 실리콘 웨이퍼, 박막, 유전체를 포함한 다양한 기질의 확산 과정에 이상적인 솔루션입니다. 최고급 용광로는 최대 1300 ° C의 온도 등급을 제공하여 광범위한 확산 처리 (diffusion procession) 요구를 충족합니다. 효율성을 고려한 설계에는 프로세스 전반에 걸쳐 정확한 온도 조절을 위해 4 구역 난방, 재순환 냉각이 포함됩니다. 사용 편의성 및 유지 관리를 위해 ASYST 멜리타스 F30VH (ASYST Melitas F30VH) 는 직관적인 제어 시스템 및 원격 모니터링/액세서빌러티 (accessibility) 기능을 갖추고 있어, 모든 원격 장치에서 용광로의 중요한 운영 정보에 편리한 액세스를 제공합니다. 이 용광로에는 온도 주기와 페어링 할 수있는 특허받은 비활성 가스 전달 (inert gas delivery) 기능이 포함되어 있으며, 이를 통해 최적화된 프로세스 기반 시작 및 종료 절차가 가능합니다. 멜리타스 F30VH (Melitas F30VH) 에는 확산 과정에서 인력과 프로세스를 보호하는 포괄적인 안전 기능이 있는 온도 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 통합 열 관리 시스템은 통합 피드백 (feedback) 루프를 사용하여 온도를 세밀하게 제어하며, 실시간 모니터링을 통해 안전하고 정확한 작동을 보장합니다. 이 장치에는 자동 클리닝 사이클 (automatic cleaning cycle) 이 포함되어 있으며, 후속 웨이퍼 및 기판 프로세스에 대비하여 용광로 내부 챔버를 자동으로 청소하도록 프로그래밍됩니다. 청소 주기 (cleaning cycle) 는 또한 오염의 위험을 줄이고 반복 가능하고 안정적인 성능을 보장합니다. 마지막으로, 밀폐형 (hermetically sealed) 구조는 장치를 보호하는 데 도움이 되고, 다양한 환경에서 안전하고 안정적인 운영을 보장합니다. 이 장치는 에너지 효율도 높으며, 다중 모드 (multi-mode) 전원 설정을 통해 에너지 소비량과 관련 비용을 절감합니다. ASYST/PST Melitas F30VH (ASYST/PST Melitas F30VH) 는 최첨단 안전 시스템, 정확한 온도 제어 및 포괄적인 프로세스 모니터링을 통해 모든 웨이퍼, 다이 또는 기판 프로세스에 대한 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공하기 때문에 다양한 어플리케이션에 이상적인 확산 로입니다.