판매용 중고 ASYST / PST Melitas F30VD #9267430

ASYST/PST Melitas F30VD는 전자 산업에 사용되는 확산 로입니다. 특성과 성능이 향상된 실리콘 기반 반도체 소재를 만들도록 설계되었습니다. 이 확산 퍼니스에는 VTDE (가변 온도 확산 환경) 를 포함하여 정확한 온도 조절과 맞춤형 증기 및 열 플럭스에 대한 PSE (pulsed study of electron transfer) 를 제공하는 최신 기술이 장착되어 있습니다. 고밀도 확산 프로세스를 위한 효율적이고, 사용자 친화적이며, 안전한 시스템을 제공합니다. F30VD에는 두 가지 주요 구획이 있습니다. 상단에는 전원 공급 장치 및 정밀 제어 핫 존 (hot-zone) 오븐과 같은 전자 부품이 있으며, 하단에는 냉장 공장과 2 개의 진공 실이 있습니다. F30VD의 온도 범위는 700 ~ 1,200 ° C, 작동 온도 최대 1,200 ° C, 작동 압력 최대 2 bar입니다. 강력한 안전 기능에는 압력 결함 장치 (Pressure Fault Device) 및 온도가 높은 센서 (over-temperature sensor) 가 포함되어 안전 위험을 방지합니다. F30VD에는 실레인 플로우 컨트롤러 (Silane Flow Controller), 증기 발전기 (Steam Generator) 와 같은 확산 로의 사용을 쉽게 사용자 정의하기 위해 다양한 액세서리가 제공됩니다. 이렇게 하면 용광로 를 통해 재료 의 흐름 을 제어 할 수 있으며, 보다 정확 한 확산 과정 을 이용 할 수 있다. 또한 실을 대피하기위한 다이어프램 (diaphragm) 과 황삭 펌프 (roughing pump) 를 포함하여 여러 개의 펌프를 갖춘 진공 시스템 (vacuum system) 과 확산 대기를 정확하게 제어 할 수있는 조절 가능한 전선 조절기 (fore-line regulator) 가 있습니다. F30VD는 사용이 쉽고, 유지 관리가 용이하며, 직관적인 원격 제어판이 장착되어 있습니다. 단 몇 번의 클릭만으로 설정을 변경할 수 있습니다. '데이터 획득 시스템 (data acquisition system)' 을 통해 프로세스를 모니터링하고 기록할 수 있습니다. 또한 F30VD에는 Windows 7이 설치된 컴퓨터 하위 시스템과 확산 시뮬레이션 및 시각화를 위한 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. F30VD는 효율적이고, 안정적이며, 정확하기 때문에, 반도체 제조업체에 이상적인 선택입니다. EMC VTL (Virtual Tape Solution) 솔루션 은 매우 구체적이고 맞춤형 제품을 생산할 수 있는 경제적인 방법을 제공하며, 현재 및 진화하는 시장의 요구를 충족합니다.