판매용 중고 ASYST / PST Melitas F30 #293668011

ASYST/PST Melitas F30은 기질의 열 처리를위한 최첨단 확산 용광로 장비입니다. 이 시스템은 MOCVD (metalorganic chemical vapour deposition), ALD (atomic layer deposition) 및 epitaxy와 같은 다양한 고급 프로세스에 적합합니다. 이 장치는 F30 퍼니스로 구성되며, 급속한 열 처리 및 7 진공주기 로드 록 (loadlock) 을 수행하여 챔버 안팎으로 기판을 운송합니다. 용광로는 높은 진공 정격 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 25 인치 x 25 인치의 가용 챔버 크기를 갖습니다. 직경은 최대 8 인치, 두께는 최대 0.15 인치입니다. F30 확산 용광로는 최대 950 ° C의 기판을 처리 할 수 있습니다. 그것은 챔버 전체의 온도의 최적의 균일성과 균일성을 위해 설계되었습니다. 이것은 높은 정밀도 센서 및 온도 조절 알고리즘이있는 멀티 존 히터 (multi-zone heater) 와 고급 현장 온도 컨트롤러 (in-situ temperature controller) 로 수행됩니다. 또한, F30 확산 로에는 처리 중 기판을 모니터링하기 위해 CCD 카메라가 장착되어 있습니다. "카메라 '는 증발· 응축 과정에 대한 실시간 정보와" 챔버' 의 청결· 청결 여부를 확인하는 데 사용될 수 있다. F30 퍼니스에 사용 된 기판 캐리어는 고온 알루미늄 합금으로 구성되며, 최대 열 보존을 위해 고온 절연으로 늘어서 있습니다. 캐리어는 정밀한 기판 온도 제어를 위해 쿼츠 스트로브 (quartz strobes) 를 특징으로하며, 진공 제거 성능 및 중앙 RF 코일을 개선합니다. 이 기계는 PST 및 ASYST Melitas의 다양한 액세서리 제품과 호환됩니다. 여기에는 극저온 응용을위한 콜드 트랩, 저진공 응용을위한 로드 락, 스테인리스 스틸 샘플 트레이, 쿼츠 인터페이스 구성 요소 및 교체 히터 요소가 포함됩니다. F30 확산 로는 기질의 열 처리를 위해 안정적이고 비용 효율적인 도구입니다. 이 제품은 강력하고 사용이 간편하며, 다양한 고급 프로세스 애플리케이션 (advanced process application) 에 적합한 솔루션입니다.