판매용 중고 ASYST / PST DO-FF-HTO 15100-300 #9170685

ASYST/PST DO-FF-HTO 15100-300은 고온 박막 및 폴리 실리콘 증착 응용 분야에 이상적인 고급 확산 로입니다. 모듈식 설계, 높은 처리량, 정확한 온도 조절, 엄격한 안전 장비 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다 (영문). 15100-300의 모듈식 설계를 통해 손쉽게 사용자 정의 및 유연성을 구현할 수 있습니다. 내장된 포트 액세스 포인트 (access point) 를 사용하여 신속하게 액세스 및 유지 관리할 수 있으며, 다양한 부품 (interchangable part) 을 통해 사용자의 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 넓은 챔버 영역 (chamber area) 과 넓은 온도 범위는 또한 인상적인 응용 분야를 허용합니다. 15100-300은 높은 처리량과 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. 정확한 온도 조절 시스템은 고급 열 센서를 사용하여 온도를 모니터링하여 배치 (batch) 에서 배치 (batch) 로 증착 일관성을 보장합니다. 퍼니스는 또한 고출력 히터 (HPT) 로 제작되어 빠른 어닐링 시간을 제공하여 공정 시간이 최소화됩니다. 또한 15100 ~ 300 은 강력한 안전 장치 (Safety Unit) 를 갖추고 있어 비정상을 감지할 경우 용광로 요소에 전원 공급 장치를 자동으로 차단합니다. 여기에는 챔버 (chamber) 및 배기 (exhaust) 포트에 대한 트리플 계층 보호 (triple-layered protection) 및 비정상적인 압력 평형의 경우 트리거하는 압력 제한 스위치 (pressure limit switch) 와 같은 다른 안전 기능이 통합되어 있습니다. 전반적으로, PST DO-FF-HTO 15100-300은 신뢰할 수 있고 다용도 확산 로로, 광범위한 어플리케이션에 적합합니다. 모듈식 디자인, 높은 처리량, 정확한 온도 조절, 엄격한 안전 머신, 고온 박막, 폴리실리콘 증착 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.