판매용 중고 ASM MS 899DLA #293672288

ASM MS899-DLA는 단일 전송에서 최대 8 "직경의 25 개의 웨이퍼를 수용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치는 여러 웨이퍼 크기를 처리하도록 설계되었으며, 카트리지는 빠르고 효율적인 방식으로 "핫 스왑 (hot-swap)" 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. MS899-DLA에는 정확한 WIP (Wafer In/Wafer Out) 처리를 위한 통합 로봇이 있으며, 고장 및 오정을 감지하기 위해 적외선 센서를 자랑합니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 또한 공정 신뢰성을 보장하고 폐기물을 줄이기 위해 통합 된 압력 및 진공 밸브와 고급 안티 잼 (Anti-jam) 장비를 갖추고 있습니다. ASM MS899-DLA는 안전 도어, 리프트 및 잡기 암, 4 개의 코너 래칭 시스템 등 다양한 기능을 제공하여 적절한 웨이퍼 배치를 보장합니다. 또한 효율적인 웨이퍼 로드 (wafer loading) 및 언로드 (unloading) 기능을 통해 유지 보수 또는 수리 용도의 웨이퍼를 쉽고 빠르게 액세스할 수 있습니다. MS899-DLA에는 처리 및 전송 중에 웨이퍼를 안전하게 오프로드하기 위해 연동 트롤리 (trolley) 장치가 함께 제공됩니다. 또한 냉각팬을 통합하여 웨이퍼를 냉각시키고 장기 동안 과열 방지 할 수 있습니다. ASM MS899-DLA는 스퍼터링, 에칭, CVD, 임플란테이션, 리소그래피, 박막 증착 및 산화와 같은 여러 반도체 제조 프로세스에 적합합니다. 이 장치는 진동 방지 특성을 제공하여 섬세한 웨이퍼로 작업하는 데 이상적입니다. 전반적으로, MS899-DLA는 현대의 반도체 프로세싱의 다양한 요구를 충족하도록 설계된 효율적이고 안정적인 웨이퍼 핸들러입니다. 통합 안전 시스템, 광범위한 호환성 레벨, 안티 잼 머신 (anti-jam machine) 은 모든 반도체 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.