판매용 중고 TAKATORI MWS-612DR #9166734

TAKATORI MWS-612DR은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 결정 성장, 톱질 및 슬라이싱 장비입니다. 이 시스템은 합리적인 크기의 고품질 크리스탈 (crystal) 을 생산할 수 있으며, 많은 제조 요건에 적합한 비용 효율적인 솔루션입니다. MWS-612DR은 진공 용광로 챔버로 구성되며, 온도 범위는 최대 1,200 ° C입니다. 용광로 챔버 (furnace chamber) 에는 부울 (boule) 을 설정하고 테이블을 최대 12도까지 기울일 수있는 회전 가능한 작업 테이블이 있습니다. 고도의 기울기 (tilt) 는 최소 폐기물로 큰 결정의 효율적인 성장을 가능하게합니다. 부울 로는 외부 순환 히터, 이온 소스, 냉각 장치 가 보완 되어 있다. 용광로 (furnace) 와 외부 가열 (external heating) 의 조합으로 부울 성장 공정의 정확한 온도 조절이 가능합니다. 이온 소스에는 이온 이식 (ion implantation) 을 위해 불순물을 용광로로 전달하기위한 여러 콘센트가 있습니다. 부울 (boule) 에 이식된 불순물 (impurities) 의 양을 조절함으로써 특정 전기 특성을 가진 고성능 반도체를 만들 수 있다. 이 기계에는 수정 톱질 및 슬라이싱 기능도 포함되어 있습니다. 톱은 높은 정확도와 분당 최대 3 미터의 절단 속도를 가진 자동 다이아몬드 블레이드 커터 (automated diamond blade cutter) 입니다. 슬라이싱 시스템은 기계식 (mechanical) 과 레이저 슬라이싱 (laser slicing) 의 조합으로, 매우 단단한 공차로 고밀도 부울에서 웨이퍼를 정확하게 슬라이스할 수 있습니다. 마지막으로, 이 도구에는 고급 모니터링 및 안전 기능이 포함됩니다. 제조 공정에 필요한 조건이 전체적으로 유지되도록 압력 (pressure), 온도 (temperature), 가스 흐름 (gas flow) 등 다양한 매개변수를 모니터링합니다. 또한, 자산은 고급 안전 모델 (Advanced Safety Model) 을 특징으로하여 직원들이 핫 구성 요소와 접촉하지 못하게합니다. 전반적으로 TAKATORI MWS-612DR은 반도체 산업을 위해 설계된 고급 크리스탈 성장, 톱질 및 슬라이싱 장비입니다. 이 시스템은 고급 온도 조절 (Temperature Control), 정확한 슬라이싱 (Slicing) 및 안전 (Safety) 기능을 결합하여 반도체 부품 제작에 사용할 고품질 결정과 웨이퍼를 효율적으로 생산할 수 있습니다.