판매용 중고 SHOWA SHINKU SFE-6130C #9053771
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ID: 9053771
Ion gun system
Batch type
Capability: 180 pcs/tray (230 pcs/max)
Style of a jig: Tray (X-Y table)
Frequency range: 10-200MHz
Measurement: HP-E5100B
Machine tact: 6 sec/pce (2 step M.L.)
Accuracy: ±5ppm (2 steps H.L.); ±2ppm (3 steps H.M.L.)
Ion-Gun: Hot-Cathode type
NOS. of Ion-Gun: 1 set
Beam power supply: 1200V/50mA
Gain phase analyzer: HP-E5100B
Computer: DOS/V
Contact: π-Circuit
Chamber: Stainless
Dimension: 545(W)×580(D)×148(H)㎜
Penning gauge: PR25
Pirany gauge: TR211
Rotary pump: VD401
CRYO-pump: CRYO-08H
Power supply (3φ): 200/220, 7kva
Filament power :10V/12A
Discharge power: 35V/2A
Compressed air: 0.5-0.7Mpa
N2 gas: 0.1MPa
Cooled water: 0.2MPa
Ar gas: 0.2MPa.
SHOWA SHINKU SFE-6130C는 정밀 기술 간 응용 프로그램 및 특수 프로세스를 위해 설계된 크리스탈 성장, 톱질 및 슬라이싱 장비입니다. 즉, 모든 프로세스를 완벽하게 자동화하여 높은 정확성과 반복 가능성을 제공합니다. 이 장치는 고효율 반도체 제작 목적으로 단일 결정 기판을 성장시킬 수 있습니다. 이 기계에는 고출력 난방 요소, 특수 소프트웨어 및 질소 기반 대기 제어 도구가 포함됩니다. 수정 성장에 적합한 비활성 환경을 유지할 수 있습니다. 멀티축과 온도 조절을 정확하게 조정하는 빠른 모든 디지털 서보 모터가 있습니다. 또한 현미경이 제공되며, 이를 통해 사용자는 실시간으로 프로세스를 원격으로 모니터링할 수 있습니다. 더욱이, 자산에는 성장 과정을 자세히 모니터링 할 수있는 CCD 카메라가 제공됩니다. 이는 전체 프로세스가 의도대로 진행 중임을 보장하는 데 도움이됩니다. 이 모델은 단일 결정 기판을 성장시키는 전통적인 방법에 비해 반복 성 (repeatability) 측면에서 우수합니다. 장비에는 자동 톱과 슬라이싱 기능도 있습니다. 뛰어난 선명도와 정확성을 제공하는 독특하고 내구성이 뛰어난 다이아몬드 톱 블레이드 (diamond saw blade) 가 있습니다. 통합 진공 시스템을 통해 원통형 폐기물을 직접 수집 할 수 있습니다. 조정 가능한 피드 레이트를 사용하면 여러 샘플을 동시에 빠르고 정확하게 절단할 수 있습니다. 이러한 절단 프로세스는 완전히 자동화되어, 사람의 오류를 제거하고 일관된 삭감을 보장합니다. SFE-6130C는 광범위한 monocrystalline 및 다결정 물질을 지원합니다. 이것은 다양한 전자, 광전자, 생의학 장치에서 정밀 부품을 만드는 데 이상적입니다. 운용 인력의 안전성을 보장하기 위해 강력한 안전 장치 (Safety Unit) 로 건설되었습니다. 일반적으로 SHOWA SHINKU SFE-6130C는 정확성과 반복성이 높은 안정적이고 자동화된 크리스탈 성장, 톱질 및 슬라이싱 기계입니다. 현대 기술 간 응용 프로그램의 정교한 요구에 적합합니다. 이 제품을 사용하면 반복 가능한 정밀도와 고효율 (고효율) 로 아름답고 유리한 크리스탈 기판을 성장시키고 만들 수 있습니다.
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