판매용 중고 PHOTOMEC CZ / PTM #293645791
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ID: 293645791
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2016
Monocrystalline silicon grower, 8"
Furnace chamber, Φ24"
Seed stroke: 3000 mm
2016 vintage.
PHOTOMEC CZ/PTM 결정 성장, 톱질 및 슬라이싱 장비는 결정의 성장, 슬라이싱 및 톱을 위한 최첨단 고급 솔루션 제품군입니다. 이 시스템은 실리콘 (silicon) 과 갈륨 비소 (gallium arsenide) 를 포함한 다른 반도체 및 유전체의 고품질 결정의 성장을 가능하게한다. 이를 통해 차세대 전자 부품과 장치의 변화하는 요구를 충족할 수 있는 수정 (crystal) 크기와 치수가 제공됩니다. CZ/PTM 설정에는 두 개의 개별 모듈이 함께 작동합니다. 결정 성장 모듈은 수직 및 수평 운송 차폐 Czochralski (TSCz) 멀티 시드 및 고해상도 Bridgeman 용광로 및 결정 성장에 사용되는 구배 용광로를 지원합니다. 또한 회전 물개, 석영 및 도가니 리프터, 샘플 홀더, 크리스탈 처리 도구 (crystal-handling tools) 와 같은 다양한 보조 장치로, 빠르고 신뢰할 수 있으며 비용 효율적인 방법으로 결정을 성장시킬 수있는 최고의 조건을 제공합니다. 크리스탈 슬라이싱 (crystal-slicing) 및 소잉 (sawing) 모듈은 다른 두께와 크기의 웨이퍼를 생성하는 데 사용되는 최첨단 장치입니다. 여기에는 고급 CMP (chemical-mechanical polishing) 장치, 최고급 단면 벨트 톱 및 추가 도구가 포함됩니다. 벨트 톱은 병렬 처리, 균일 한 표면 및 최소 결함이있는 웨이퍼를 생성합니다. CMP 장치는 모든 웨이퍼에서 매우 정확한 편평성과 원형성을 보장하고 병렬 처리 오류 (parallelism error) 를 줄입니다. PHOTOMEC CZ/PTM 머신의 2 개 모듈은 단일 프레임 워크로 통합되어 성장 챔버 (Growth Chamber) 에서 슬라이싱 및 소잉 스테이션 (Slicing and Sawing Station) 으로 결정을 원활하게 옮길 수 있습니다. 게다가, 이 도구 는 매우 일관성 있는 많은 "크리스탈 '과" 웨이퍼' 를 생산 할 수 있다. 자산에는 또한 광학 도량형 소프트웨어, 입자 분석, 3D 측정으로 구성된 모든 품질 제어 모듈 (Quality control module) 이 포함되어 있어 모든 결과가 전체 프로세스 전체에서 일관성을 유지하도록 보장합니다. 마지막으로, CZ/PTM 모델은 커스터마이징이 가능하며 고객의 특정 요구에 맞게 조정할 수 있다는 점도 주목할 만하다. 또한 예방 유지 보수 도구 (Preventive Maintenance Tools) 와 센서 (Sensor) 가 장착되어 있어 장비가 중단 없이 작동하고 유지 관리 비용을 절감할 수 있습니다.
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