판매용 중고 PHOTOMEC CZ / PTM #293645788
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ID: 293645788
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2016
Monocrystalline silicon grower, 8"
Furnace chamber, Φ24"
Seed stroke: 3000 mm
2016 vintage.
PTM (또는 PHOTOMEC CZ) 은 단일 결정 재료의 추가 처리를 위해 설계된 자동 결정 성장, 톱질 및 슬라이싱 장비입니다. PTM 시스템은 프로세스의 모든 측면을 제어하기위한 반응 선박, 냉장 장치, 프로세스 컨트롤러 및 자동화 패키지로 구성됩니다. 이름에서 알 수 있듯이 PTM 시스템은 성장, 톱니, 슬라이싱의 세 가지 주요 섹션으로 나뉩니다. 단위의 성장하는 구성 요소는 단일 결정 성장에 대한 최적의 환경 조건을 제공하는 데 중점을 둡니다. 실험은 용광로와 유사한 온도 및 압력 조절 반응 용기에서 수행된다. 또한, 냉각 속도, 램프 속도, 시간과 같은 추가 매개변수를 조정하여 결정 마이그레이션에 영향을 줄 수 있습니다. 이러한 모든 매개변수는 자동화된 기계에 의해 전문적으로 제어됩니다. 톱질 성분은 자란 결정을 특정 원하는 크기로 형성하는 데 사용됩니다. 개별 조각을 보는 데 사용되는 과정은 다이아몬드 와이어 톱입니다. 고장력 다이아몬드 임베디드 와이어로 구성되어 있으며, 깨끗하게 자란 단일 결정을 얇은 조각으로 자를 수 있습니다. 슬라이싱 컴포넌트 (slicing component) 는 이전에 잘린 웨이퍼에서 얇은 포일을 생성하기위한 추가 작업입니다. PTM 도구는 최고의 슬라이싱 기능을 제공하기 위해 하이브리드 슬라이스 (hybrid slice) 및 주사위 에셋으로 설계되었습니다. 에어포일 (Airfoil) 과 기계식 블레이드 (Mechanical Blade) 는 모두 함께 작동하며 애플리케이션의 특정 박막 요구에 따라 조정 될 수 있습니다. 세 가지 구성 요소의 조합을 통해 다양한 어플리케이션을 위한 고품질 단일 수정 재료 (single crystal material) 를 생산할 수 있습니다. PTM 시스템은 MEMS, GaN 및 SiC 기판, 광학 필터와 같은 처리 영역에 반도체 산업에서 광범위하게 사용됩니다. 단일 결정 물질이 적용된 다른 분야로는 에너지 저장, 디스플레이 기술, 레이저 기술 등이 있습니다. 요약하면, PTM (PHOTOMEC CZ) 은 단일 결정 재료의 성장, 톱질 및 슬라이싱을위한 강력한 자동화 모델입니다. 콘서트에서 이러한 모든 구성 요소를 활용하여, PTM은 사용자에게 가장 높은 품질, 가장 균일 한 단일 수정 재료를 제공합니다.
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