판매용 중고 MEYER BURGER TS 23 #9409189

MEYER BURGER TS 23은 특히 고급 3 "및 4" 웨이퍼 생산을 위해 설계된 자동 크리스탈 성장, 톱질 및 슬라이싱 장비입니다. 이 시스템은 전기 화학 결정 성장, 톱질 및 슬라이싱 기술의 잘 최적화 된 조합으로 구성됩니다. 메이어 버거 (MEYER BURGER) TS23 전기 화학 결정 성장 장치는 GaN 및 관련 화합물을 포함한 다양한 시작 물질을 갖는 고급 다중 결정질 인고트를 생성 할 수있다. 성장 챔버 (Growth Chamber) 는 최적의 성장 성능을 위해 균일 한 온도 조절과 낮은 열 구배를 제공하도록 특별히 설계되었습니다. 이 기계는 또한 전기 화학 공정 (electrrochemical process) 을 정확하게 제어하기위한 고급 프로세스 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. 이 도구에는 고급 X-Ray 디플링 소잉 장치가 장착되어 있으며, 이는 3 인치 및 4 인치 웨이퍼 생산에 최적화되어 있습니다. 톱질 장치 (sawing unit) 는 전력 소비를 최소화하고 생산성을 극대화하여 부드러운 톱 컷을 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 자산에는 소핑 전에 웨이퍼를 정확하게 배치하고 정렬하는 데 사용할 수있는 여러 손가락 픽 앤 플레이스 (pick-and-place) 자동화 모델이 장착되어 있습니다. TS-23에는 웨이퍼의 정확한 단면 컷을 허용하는 슬라이싱 (slicing) 장비가 추가로 장착되어 있습니다. 여기에는 웨이퍼 결함을 최소화하는 특허 회전 슬라이싱 기술이 포함됩니다. 또한, 이 시스템은 컷 웨이퍼를 정확하게 검사하기위한 고급 레이저 스캐닝 현미경을 특징으로합니다. 간단히 말해, TS23은 3 "및 4" 다중 결정질 잉곳의 정밀 처리를 허용하는 완전 자동화 장치입니다. 이 기계는 고급 프로세스 모니터링 도구 (Advanced Process Monitoring Tools) 와 슬라이싱 (Slicing) 기술을 갖추고 있어 수정 프로세스 (Crystal Growing and Slicing Process) 의 성능과 수율을 최적화합니다. 또한, 이 툴은 최소한의 에너지 소비량과 최대한의 생산성으로 처리량을 제공하도록 설계되었습니다.