판매용 중고 MEYER BURGER TS 23 #9209254

MEYER BURGER TS 23은 다양한 유형의 monocrystalline 및 polycrystalline 실리콘 재료에 사용되는 결정 성장, 톱니 및 슬라이싱 장비입니다. 이 시스템은 반도체 업계의 고품질 실리콘 웨이퍼를 효율적으로 제조하도록 설계되었습니다. 클린 룸 (Cleanroom) 호환 솔루션을 통해 대형 크리스탈 블록을 원하는 크기로 확장, 저장, 슬라이스할 수 있습니다. 이 장치는 두께가 200 ~ 350 mu m, 직경이 150 ~ 200 mm 인 고정밀 박막 솔라 웨이퍼의 자동 생산을 허용합니다. MEYER BURGER TS23은 결정 당김 장치, 가스 처리 장치, 용광로, 단일 축 또는 다중 축 슬라이싱 장치 및 톱 유닛으로 구성됩니다. 수정 당김 장치는 완전히 자동화되어 있으며, 순도 (99.995%) 보다 높은 균일 하고 균일 한 결정 블록을 만들 수 있습니다. TS-23의 가스 처리 장치 (gas handling unit) 는 실리콘 용광로가 최적의 성장 조건에 도달하기 위해 필요한 구성 요소를 공급합니다. 이 기계 는 어떤 외국 입자 의 효과적 인 여과, 성장 과정 전 혹은 후 의 "암푸울 '의 냉각 및" 암푸울' 내 의 온도 분포 를 조절 하는 압력 의 적용 을 가능 케 한다. TS23 과 함께 제공되는 용광로 는 폭, 무게, 모양 이 다양 한 여러 가지 "잉고트 '용량 을 처리 하는 데 적합 하다. 용광로 내부 에 있는 열 "플럭스 '는" 실리콘' 의 성장 과정 을 조절 하기 위하여 정밀 한 속도 로 적용 된다. 용광로는 에너지를 절약하기 위해 설계되었으며 최적의 온도 유지에 도움이 되는 CryoCool (tm) 기술이 있습니다. 잉고 크기가 결정되면, TS 23에는 단일 또는 다중 축 슬라이싱 장치가 장착됩니다. 이 장치는 높은 정밀도로 잉고트를 슬라이스하도록 특별히 설계되었습니다. 직경이 150 ~ 200mm 인 박막 및 두꺼운 필름 솔라 웨이퍼를 만드는 데 이상적입니다. 마지막으로, 톱 유닛은 박막 솔라 웨이퍼를 원하는 크기로 자르는 데 사용됩니다. 이 saw 장치는 Cleanroom 호환 환경에서 뛰어난 샘플 처리를 위해 설계되었습니다. 메이어 버거 (MEYER BURGER) TS-23은 반도체 산업을위한 고정밀 박막 솔라 웨이퍼를 생산하는 데 적합한 종합적인 크리스탈 성장, 톱질 및 슬라이싱 장치입니다. 이 도구는 자동화된 프로세스와 새로운 CryoCool (tm) 기술을 통해 효율적인 운영 및 우수한 결과를 제공할 수 있습니다.