판매용 중고 MEYER BURGER TS 116 #160564

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ID: 160564
웨이퍼 크기: 4"-6"
Slicing Machine, 4" to 6" For automatic slicing of ceramic materials, ferrite, quartz, optical glass Slicing blade dia.: 100-150mm Controller: GE Fanuc Series O-M (1999 vintage) Fixed spindle speed range from 2500-8000 RPM Longitudinal path: 300 mm Cross path: 140 mm Vertical path: 100 mm Resolution in all 3 axes: 0.001 mm Feed speeds programmable from 5-2000 mm/min Workable: 300 x 150 mm Distance spindle axis workable: 50-150 mm 1989 vintage.
메이어 버거 (MEYER BURGER) TS 116은 단일 크리스탈 잉고트 (Ingot) 에서 얇은 웨이퍼를 절단하기 위해 설계된 최첨단 자동 크리스탈 성장 및 톱니/슬라이싱 장비입니다. 이 "시스템 '은 설치 공간 이 작으며, 많은 재료 들 을 수용 하면서 직경 이 최대 6" 센티미터' 인 "웨이퍼 '를 효율적 으로 생산 할 수 있다. 자동 수정 성장 장치 (Auto Crystal Growing Unit) 에는 단일 게이트 밸브가있는 다중 요소 퍼니스가 장착되어 다양한 재료 시스템에서 효율적인 결정 성장이 가능합니다. 이 기계는 단일 결정 성장, 다결정 성장, 온화 및 녹는 공정이 가능합니다. 사용자 친화적 인 도구에는 저소음 작업과 함께 통합 안전 시스템, PID 제어 및 진공 호환성도 포함됩니다. 자산의 톱질/슬라이싱 단계 (sawing/slicing stage) 는 단일 잉고에서 다양한 유형의 얇은 웨이퍼를 자를 수 있습니다. 이 모델은 소재 폐기물을 최소화하면 최신 소잉 (sawing) 기술을 사용하여 높은 수율로 고정밀 얇은 웨이퍼를 생산합니다. 소잉 (sawing) 장치와 함께 작동하는 6 축 제어 장비는 웨이퍼 절단 및 슬라이싱의 정확도를 향상시킵니다. 이 시스템은 또한 매개변수 메모리 (parameter memory), 통합 프로세스 제어 및 모니터링 (integrated process control and monitoring), 손쉬운 문제 해결을 위한 헬프 룸 (help-room) 과 같은 업데이트된 사용 편의성 기능을 제공합니다. 또한 TS 116은 실시간 프로세스 모니터링 및 데이터 로깅을 통해 Industry 4.0 연결을 제공합니다. 통합 계량 장치를 사용하면 쐐기 모양의 재료를 자동으로 원료 적재 및 언로드할 수 있습니다. 또한, 프로세스 간 재료 전달은 버퍼 슬라이드 테이블 (buffer slide table) 을 통해 제공되며, 이는 결정 성장 (crystal growth) 과 웨이퍼 톱질/슬라이싱 단계 (wafer sawing/slicing stage) 사이에서 보다 빠르고 효율적인 재료 이동을 가능하게한다. 전반적으로 MEYER BURGER TS 116은 고급적이고 효율적인 크리스탈 성장과 톱질/슬라이싱 머신 (sawing/slicing machine) 으로, 뛰어난 사용성 기능과 산업 생산에 적합한 안정적이고 안전한 작동을 결합합니다. 최소한의 재료 폐기물로 고품질의 얇은 웨이퍼를 생산할 수 있는 TS 116 (TS 116) 은 최첨단 크리스탈 성장과 톱질/슬라이싱 어플리케이션을 위한 완벽한 선택입니다.
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