판매용 중고 MEYER BURGER DW 288 #293645365

ID: 293645365
빈티지: 2016
Wire saw 2016 vintage.
메이어 버거 DW 288 (MEYER BURGER DW 288) 은 높은 정확도로 수정 성장, 톱질 및 슬라이싱 작업을 수행하도록 설계된 고급 반도체 제조 장비입니다. 이 시스템은 모양 웨이퍼를 형성하기위한 통합 솔루션을 제공하며, 1 밀리미터의 1/50 미만의 정밀 등급으로 사망합니다. DW 288은 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 첫 번째 구성 요소는 crystal growing unit으로, CVD 소스, in-situ Si 소스 및 어닐링 퍼니스가 장착 된 다양한 단일 결정 실리콘 (Si) 재료를 제공합니다. in-situ 소스는 직경 최대 4 센티미터, 최대 1 밀리미터의 30도 Si 결정의 성장을 가능하게합니다. CVD 소스는 기존 방법보다 최대 10 배 빠른 Si 증착률을 가능하게합니다. 결정 성장은 광학 현미경을 사용하여 실시간으로 모니터링됩니다. 두 번째 구성 요소는 소잉 머신 (sawing machine) 인데, 여기에는 Si 레이어를 별도의 다이로 분할하는 데 사용되는 자동 와이어 톱이 포함됩니다. 톱은 진동하거나 회전하는 스풀에서 공급되는 강철로 된 다이아몬드 와이어 (diamond wire) 를 특징으로합니다. 수동 (manual) 또는 자동 (automatic) 모드로 작동하여 미리 정해진 좌표를 따라 정확하게 절삭할 수 있습니다. 세 번째 구성 요소는 슬라이싱 도구 (slicing tool) 로, 웨이퍼를 다양한 모양과 크기로 슬라이스할 수 있는 특수 설계된 회전 블레이드 (rotating blade) 를 사용합니다. 에셋에는 컷 웨이퍼의 두께를 0.01 밀리미터 아래로 측정하기 위해 교정 된 디지털 스케일 (digital scale) 도 장착되어 있습니다. 블레이드는 왼쪽/오른쪽 방향으로 회전하여 원하는 두께를 달성할 수 있습니다. MEYER BURGER DW 288 모델은 빠르고 정확한 절단, 높은 정밀도 및 최소 열 변형과 같은 다양한 장점을 제공합니다. 또한 안전한 작동을 보장하는 여러 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 장비는 고출력, 마이크로파 (micro-electro-mechanical) 시스템, 마이크로전자 (micro-electro-mechanical) 시스템 등 다양한 유형의 집적 회로를 만드는 데 사용될 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다