판매용 중고 MEYER BURGER DS 264 #9073850
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ID: 9073850
웨이퍼 크기: 6.5"-8"
빈티지: 2008
Multi wire saws, 6.5"-8"
Slurry application
Power: 400V, 130kw
Mono and multi
(2000) Ingots/PCS
Mono/multi stick: 810 mm
Mono/two stick: 600 mm
(1) Stick
Currently installed
2008 vintage.
MEYER BURGER DS 264는 MEYER BURGER가 반도체 웨이퍼 생산에 사용되는 결정 물질을 위해 개발 한 완전 자동화 된 결정 성장, 톱질 및 슬라이싱 장비입니다. 이 시스템은 Czochralski 및 Bridgman 성장 방법을 사용하며 직경이 최대 13cm 인 결정에 적합합니다. 이 장치는 여러 컴포넌트로 구성되며, 원하는 재료를 빠르게 증가, 톱질, 슬라이싱할 수 있습니다. "크리스탈 '성장 기관 은 기계 의 핵심체 이며, 이 기관 은" 크리스탈' 의 성장 과 유지 에 필요 한 모든 요구 조건 을 자동적 으로 관리 한다. 정밀한 온도 조절, 자동 저어, 가열, 냉각제 조절 (automatic stirring, heating, and coolant regulation) 의 조합을 통해 성장 체는 성장 조건을 면밀히 모니터링하고 조정하여 최상의 품질의 결정을 얻을 수 있습니다. 또한, 성장 기관의 정교한 인체 공학적 설계 (ergonomic design of the growth body) 는 최소한의 운영자 개입으로 프로세스가 수행 될 수 있도록 보장하여 가장 효율적인 결정 생산을 제공합니다. 이 도구 에는 또한 여러 개 의 "다이아몬드 '전선 을 사용 하여 결정 을 분할 하는" 다이아몬드' 전선 이 포함 되며, 각 전선 은 자체 "모우터 '로 구동 되므로 매우 정확 하고 일관성 있는 자르기 가 가능 하다. 절삭 성능 극대화, 운영자 개입 최소화를 위해 수작업 (manual adjustment) 의 필요성을 줄여주는 장력 (tension) 과 블레이드 속도 (blade speed) 측면에서 와이어를 자동으로 조절할 수 있습니다. 마지막으로, 자산에는 자동 슬라이싱 머신 (automated slicing machine) 이 장착되어 균일 한 슬라이스 두께에 대한 최고의 정밀도와 자동화를 제공합니다. 통합 비전 (Integrated Vision) 모델을 사용하면 슬라이스를 실시간으로 관찰하고, 연산자 간섭을 최소화하고, 최상의 처리 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로, DS 264 장비는 반도체 업계의 고품질 크리스탈을 빠르고 정확하게 생산하기 위한 완벽한 도구입니다. 첨단 기술과 정교한 디자인의 결합으로 운영자 개입 (operator intervention) 을 최소화하면서 고품질 크리스탈을 일관되게 생산할 수 있으며, 동시에 최대한의 효율성과 비용 효율성을 제공합니다.
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