판매용 중고 KOMATSU PV500D #9228707

KOMATSU PV500D는 고급 반도체 및 전자 재료의 연구 개발을 위해 설계된 고성능 크리스탈 성장, 톱질, 슬라이싱 장비입니다. 단결정 성장 (single crystal growth), 슬라이싱 (slicing), 톱질 (sawing) 의 중요한 공정을 높은 정밀도와 생산성으로 달성할 수 있는 다기능 시스템이다. PV500D는 Cold Crucible Feeder 메커니즘이있는 진공 챔버, 사이리스터 제어 DC 전원 공급 장치 및 Load Lock Door를 포함한 다양한 구성 요소로 구성됩니다. 대기 공기, 진공 또는 비활성 가스에서 수행되는 실험을 지원하도록 설계되었습니다. 진공실은 결정 성장에 대한 4E-5 mbar 압력을 달성 할 수 있습니다. Cold Crucible Feeder는 석영 및 석영 코팅 스테인리스 스틸로 만들어졌습니다. 열 절연 스테인레스 스틸 바디와 사파이어 도가니로 구성됩니다. 결정의 성장에 사용되는 도가니 (crucible) 는 전원 공급 장치를 사용하여 최대 1300 ° C까지 가열하고 700 ° C까지 냉각 할 수 있습니다. 로드 잠금 도어 (Load Lock Door) 는 배치에서 수정의 증가를 위해 최대 3 개의 다른 기판을 수용 할 수 있습니다. KOMATSU PV500D는 이제 큰 결정과 여러 기판을 동시에 재배하는 데 사용되는 GPLT (Growing Plate Laminating Technique) 를 지원합니다. 전원 설정, 압력, 온도 등의 로드 매개변수는 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 사용하여 제어할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 열 매핑 머신 (thermal mapping machine) 과 통합되어 도가니 안의 냉각/난방 기능을 모니터링하여 균일 한 결정 성장을 보장합니다. sawing 및 slicing 프로세스를 위해 PV500D에는 Segoma 다이아몬드 블레이드 톱과 슬라이싱 핸드 휠이 장착되어 있습니다. 톱질을 위해 Load Lock Door에 최대 3 개의 기판을 적재 할 수 있습니다. Segoma 톱은 조정 가능한 다이아몬드 블레이드로 인해 고정밀 슬라이싱에 이상적입니다. 또한 회전 속도가 빠르고 정밀도 높은 절단 작업을 가능하게하기위한 회전 베이스가 있습니다. 슬라이싱 핸드 휠 (slicing hand wheel) 은 웨이퍼를 하중 잠금 장치에서 톱으로 이동하는 데 사용됩니다. 전반적으로, KOMATSU PV500D는 다양하고 생산적인 결정 성장, 톱질 및 슬라이싱 도구이며, 과학자와 연구원들에게 고품질의 단일 결정을 성장시키고 정확하게 슬라이스 할 수있는 능력을 제공합니다. 사용 편의성은 연구 실험실 및 생산 시설에 완벽한 도구입니다.