판매용 중고 KOMATSU NTC MWM 442DM #9401391

KOMATSU NTC MWM 442DM은 고정밀, 단일 결정 기판을 생성하는 데 사용되는 현대적인 결정 성장, 톱니 및 슬라이싱 장비입니다. 이 시스템은 높은 경사 기울기 레이저 정렬기 (high-bevel tilt laser aligner) 와 다양한 구성 및 처리 요구를 충족하도록 빠르게 설치, 이동, 재구성 가능한 컴팩트하고 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 자동 소잉 (sawing) 및 슬라이싱 모듈은 정확한 컷을 보장하기 위해 자동 클램핑, 틸팅 및 자동 중심 장치가 장착 된 선형 모터 드라이브를 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 증가하는 기판을 정확하게 정렬하고 스캔하는 멀티 빔 (multi-beam) 및 멀티 초점 (multi-focal) 이미징 기술을 갖추고 있습니다. 공구의 성장하는 챔버 (chamber) 에는 기판의 모든 영역에서 가열의 정확한 제어가 가능한 정확한 압전 지대 (piezoelectric zone) 가열 에셋이 있습니다. 정밀 및 반복성은 온도, 대기, 산화 및 대기 압력의 정확한 제어에 의해 향상됩니다. 이 모델에는 반복 가능한 기질 품질을 위해 정확하고 일관된 산화물 수준을 보장하는 폐쇄 루프 (closed-loop), 질소 대기 제어 장비가 포함됩니다. 이 시스템에는 온도 및 대기 센서 (실시간 검사 및 정확한 작동 조건 보장) 도 포함되어 있습니다. 또한이 장치에는 입자 오염, 오염 입자 및 표면 거칠기 (surface roughness) 수준을 줄이기위한 독특한 고진공, 초정화 프로세스가 장착되어 있습니다. 이는 오래 지속되는 기판과 일관성 있고 고품질의 최종 제품을 보장합니다. 최대 처리량을 위해 기계는 지속적으로 회전하는 6 축 로봇 암을 포함합니다. 이 정확하게 제어 된 로봇 모듈은 프로세스 동안 빠르고 정확한 이동을 보장합니다. 자동화된 제어 도구 (automated control tool) 는 위치 및 단계 크기의 최소 변형으로 회전 로봇 팔의 속도와 압력을 지속적으로 조정합니다. 에셋은 최대 웨이퍼 크기가 400mm 인 가장 넓은 웨이퍼 (wafer) 와 함께 사용하도록 설계되었습니다. 이 모델은 또한 표면 결함을 제거하기위한 구슬 폭발 표면 처리 (bead blasting surface treatment), 향상된 표면 품질을위한 고압 화학 기계 연마 처리 (high-pressure chemical mechanical polishing treatment) 및 결정질 도메인 안정성을 향상시키는 열 처리 프로세스를 특징으로합니다. KOMATSU NTC MWM-442DM은 단일 결정 기판을 생산하기위한 신뢰할 수 있고 고정밀 장비입니다. 매우 효율적이고, 정확하며, 다양한 어플리케이션에 뛰어난 품질의 기판을 제공합니다.