판매용 중고 EBARA Crystal Growing Furnace #9011004
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ID: 9011004
빈티지: 2001
Silica crystal growing furnace
Elgar power supply
(8) Sorenson power supplies
(2) Ribbon feeders
0-25 V, 0-160 DC
2001 vintage.
EBARA Crystal Growing Furnace (ECGF) 는 고순도, 고효율 monocrystalline 및 다결정 반도체의 효율적인 생산을 증가시키기 위해 설계된 최첨단 결정 성장, 톱질 및 슬라이싱 장비입니다. ECGF는 Lattice Diffusion Furnace 및 확산 챔버 (Diffusion Chamber) 기술의 최신 기술을 활용하여 다양한 모양과 크기로 우수한 품질의 결정을 생성 할 수 있습니다. 전체 "시스템 '은 암자 로 밀봉 된" 스테인레스' 강 틀 안 에 만들어져 있으며, 흙, 먼지 및 기타 불순물 로부터 오염 되지 않도록 보호 해 준다. ECGF의 중앙 구역 (Central Zone) 은 강력한 수직 로와 2 개의 측면 확산 챔버를 갖추고 있으며, 반도체 장치 제조에 사용되는 대규모 단일 결정 또는 고순도 다중 결정 재료 조각을 생산할 수 있습니다. 용광로 챔버에는 고급, 자동 프로그래머블 논리 컨트롤러 (PLC) 및 디지털 온도 표시기 및 제어 장치가 포함됩니다. 이를 통해 확산 중 온도와 가스 혼합물 (gas mixture) 을 정확하게 제어하여 최적의 성장 및 품질 출력을 보장합니다. 용광로에 사용되는 고출력 유도 가열 장치 (high-power induction heating devices) 는 빠른 속도와 반복 가능한 결과에서 효율적이고 안정적인 결정 성장을 가능하게합니다. ECGF (ECGF) 의 2 개의 측면 확산 챔버 (diffusion chamber) 는 과도한 증기를 수집하고 전체 조각에서 균일 한 결정 성장을 허용합니다. 또한, 이러한 측면 확산 챔버를 사용하면 교차 오염 위험없이 여러 개의 결정 배치를 나란히 만들 수 있습니다. ECGF 상단에는 정확한 톱질 및 슬라이싱 머신이 장착되어 있습니다. 이 워크스테이션에는 크리스탈 성장주기 (crystal growth cycle) 와 절단주기 (cutting cycle) 사이의 샘플 전송을 용이하게 하는 회전 테이블, 섬세한 슬라이싱 작업을 수행하는 다이아몬드 코팅 (diamond-coated) 톱날, 톱니 및 슬라이싱 작업 중 가장 좋은 위치를 지정하기위한 정밀 x-y 단계 등이 포함되어 있습니다. 크리스탈 그레이딩 퍼니스 (Crystal Growing Furnace) 는 최신 크리스탈 예금 기술과 함께 반도체 장치 제조를위한 고효율, 고순도 크리스탈을 생산하기 위해 이상적인 선택입니다. 우수한 성장과 슬라이싱 시스템, 최적의 가스 흐름 및 알고리즘 제어 (algorithm control) 를 통해 ECGF는 21 세기 반도체 개발을 강화하는 데 적합합니다.
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