판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS / HCT E500SD-B/5 #293628103
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HCT E500SD-B/5는 반도체 및 기타 나노 물질 특성 및 제조 응용 분야에 사용되는 결정 성장, 톱니 및 슬라이싱 장비입니다. 이 시스템은 로봇 다축 단계, 고정밀 초정밀 톱질 및 슬라이싱 도구, 레이저 유발 분광 분광법 (LIBS) 용 레이저 시스템이있는 초고진공 결정 성장 챔버를 갖추고 있습니다. 또한 결정 성장에서 특성화 및 처리에 이르기까지 혁신적인 나노 구조 재료 연구 및 프로세스 개발 활동을 지원합니다. E500SD-B/5 결정 성장 장치에는 최적의 결정 성장 조건과 최대 프로세스 처리량을 제공하도록 설계된 UHV (Ultra-High Vacuum) 챔버가 있습니다. 이 챔버에는 수정 성장 및 전송 환경을 정확하게 제어하기 위해 자동 (automatic) 멀티 축 (multi-axis) 로봇 스테이지가 장착되어 있습니다. 이 기계에는 유도 가열, 수냉식 부품, 진공 도구 구성 요소 및 자동 프로세스 작업도 포함됩니다. E500SD-B/5는 또한 고정밀 톱 (saw) 과 슬라이서 (slicer) 를 특징으로하여 재료 두께와 표면적의 정확한 샘플 분리와 최소한의 감소를 가능하게합니다. 톱과 슬라이서는 최대 8 인치 직경의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 내장 광학 레이저 시스템은 인산 결합 실리콘 기판, 쿼츠 기판 및 기타 반도체 재료와 같은 재료를 특성화하는 데 이상적입니다. E500SD-B/5는 또한 혁신적인 나노 구조 재료의 연구 및 개발을위한 기능을 제공합니다. 저온 저온 에피택시 (low-temper epitaxy) 와 방향성 고체 (directional solidification) 와 같은 고급 기술을 통합하여 열전 및 기타 복잡한 구조의 개발에 유용합니다. 이 자산에는 수정 (crystal) 성장 환경의 실시간 모니터링 및 제어를 위한 감지 및 제어 기능도 포함되어 있습니다. AMAT E500SD-B/5는 다양한 요구 사항을 충족하는 데 사용할 수있는 다목적 크리스탈 성장 모델입니다. 많은 나노 재료 연구 개발 프로젝트, 재료 특성, 제조 활동에 필수적인 유연성, 정확한 환경 제어, 고성능 기능을 제공합니다. 이 장비는 고급 재료 및 나노 구조를 추구하는 데 필수적인 도구입니다.
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