판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS B6 MaxEdge #9012212
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ID: 9012212
Wire saws
Work piece dimensions (L x W):
Max. 4 x 156 mm x 156 mm
Max. 2 x 220 mm x 220 mm
Loading length: max. 4 x 540 mm
Wire speed: 20 m/s
Wire acceleration: 3.5 – 13.5 m/s2
Wire guide length: 560 mm
Wire guide diameter: 300 mm
Number of wire guides: 4
Wire guide power: 4 x 46 kW
Table:
Total table travel (depends on clamping): max. 250 mm
Cutting speed: 0 – 9000 μm/min
Fast table speed: 0 – 460 mm/min
Number of tables: 2
Wire:
Wire tension: 10 – 30 N
Wire length: max. 2 x 1100 km
Wire web width: max. 540 mm
Slurry:
Tank capacity: 700 liters
Pumping capacity: max. 2 x 160 kg/min
Pump power: 3 x 7.5 kW
Pumping speed adjustments: 0 – 100%
Number of pumps: 2 for slurry delivery, 1 for slurry return
Number of manifolds in slicing room: 6
Utilities:
Air pressure / Air flow: 4 – 6 bar / min. 30 m3/h
Exhaust flow: 1 x 250 m3/h
Cooling unit power: 200 kW
Incoming water temperature / Flow (without cooling compressor): max. 15 °C / 24.6 m3/h
Electrical frequency: 50 or 60 Hz
Average power (without cooling compressor): 130 kVA
Maximum power (without cooling compressor): 280 kVA.
AMAT/APPLIED MATERIALS B6 MaxEdge Equipment는 효율성과 정밀도를 최적화하기 위해 설계된 고도의 크리스탈 성장, 톱질 및 슬라이싱 시스템입니다. 이 장치는 정밀 석판화 (precision lithography), 결정 성장 (crystal growth), 레이저 절단 (laser cutting) 및 기타 강력한 기능과 같은 몇 가지 혁신적인 기술을 결합하여 가능한 최고 품질의 결정을 생성합니다. 이 기계는 독점적 인 결정 성장 과정을 사용하여 마이크로 미터 (micrometer) 및 나노 미터 규모의 재료 합성 및 처리의 최신 발전을 효과적으로 활용합니다. 정밀 리소그래피 (Precision lithography) 는 사용자 정의 매개변수 (user-defined parameters) 세트에 의해 제어되는 웨이퍼 서피스에 정확한 패턴 형태로 하드 마스크를 배치하는 데 사용됩니다. 그런 다음, 리소그래피 (lithography) 는 한 번의 작업으로 마스크를 정확하게 참호하기 위해 코팅을 가로 질러 집중된 레이저를 청소하기 전에 원하는 아키텍처에 자체 정렬합니다. 그런 다음 레이저에는 독점적 인 형성 스캐닝 단계가 이어집니다. 이 단계는 결정 물질을 특정 기하학 (geometries) 으로 에칭하여 매우 정밀하게 슬래브, 기둥 및 기타 구조를 생성합니다. 그런 다음, 마스크를 웨이퍼에서 들어 올려 원시 상태의 3D 구조를 드러냅니다. AMAT B6 MaxEdge는 다양한 슬라이싱 및 다이빙 기능도 지원합니다. 통합 슬라이싱 스테이션 (slicing station) 은 기계식 슬라이싱을 위해 재료를 정확하게 절단 할 수있는 반면, 통합 톱은 재료를 바 (bar), 펠릿 (pellet) 및 기타 모양으로 절단합니다. 그런 다음, "다이빙 스테이션 '은 그 과정 의 마지막 단계 를 수행 하여 세밀 한 재료 를 얇은" 웨이퍼' 로 매우 정확 하게 절단 한다. 모든 작업을 취소하기 위해 APPLIED MATERIALS B6 MaxEdge는 프로세스의 모든 단계에서 고급 제어를 제공합니다. 높은 수준의 자동화를 통해 사용자가 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있도록 crystal growth process, lithography, etching, slicing 및 dicing을 동적으로 제어할 수 있습니다. 이 극한 제어 수준 (extreme level of control) 을 통해 가장 고급 속성과 기능을 가진 재료를 생산할 수 있습니다.
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