판매용 중고 SEMITOOL Storm 300 #9211217

SEMITOOL Storm 300
제조사
SEMITOOL
모델
Storm 300
ID: 9211217
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
Carrier cleaner, 12" 2010 vintage.
SEMITOOL Storm 300은 반도체 산업의 박스 세탁기입니다. CMP (chemical mechanical planarization) 및 습식 청소와 같은 고급 프로세스를 위해 설계되었습니다. 스톰 300 (Storm 300) 은 고급 설계를 활용하며 깔끔함, 프로세스 제어 능력, 처리량 향상 등의 기능을 제공합니다. SEMITOOL Storm 300은 고급 청소 기능, 정밀 프로세스 제어 및 고속 프로세스 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 그것의 디자인은 우수한 열과 오염 제어를 촉진하여 균일, 품질 결과를 보장합니다. Storm 300은 폐쇄 루프, 재순환, 핫 및 콜드 DIW 장비, 다중 재순환 펌프 및 온도 조절 시스템을 사용합니다. SEMITOOL Storm 300에는 6 개의 독립적으로 조절 가능한 스프레이 챔버와 9 개의 뜨겁고 차가운 린스 탱크가 있으며, 이는 독립적으로 온도가 제어됩니다. 또한 통합, 완전 자동 핫 (hot) 및 콜드 (cold) 화학 전달 시스템, 개별 처리 탱크의 샘플링 및 배수를위한 독특한 내부 장치를 갖추고 있습니다. Storm 300은 물 흐름, 온도 및 화학 농도와 같은 린스 매개 변수를 월등히 제어합니다. SEMITOOL Storm 300에는 다중 구역 경화 오븐 (multi-zone curing oven) 이 있으며, 부품을 빠르게 가열하고 더 깨끗하고, 더 빠르고, 신뢰할 수있는 건조 공정을 제공하도록 설계되었습니다. 이 오븐에는 조절 가능한 공기 속도 제어 머신과 온도 조절 도구가 포함됩니다. 휘발성 화합물을 대피시켜 우수한 청결을 보장하기위한 내부 배기 자산도 포함되어 있습니다. 스톰 300 (Storm 300) 은 또한 두 번째 경화 오븐 및 필터/펌프 어셈블리를 포함하여 다양한 옵션 습식 벤치 액세서리를위한 챔버를 제공합니다. SEMITOOL Storm 300은 도어 인터록, 진공 감지 및 고온 경고 모델을 포함한 강력한 안전 시스템으로 설계되었습니다. 또한 Storm 300에는 온보드 데이터 로깅 및 제어 장비가 있어 정확하고 반복 가능한 프로세스 매개변수를 보장합니다. SEMITOOL Storm 300 (Semitool Storm 300) 은 대용량 반도체 제조의 엄격한 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었으며, 강력하고 안정적인 설계 및 탁월한 프로세스 제어를 제공합니다.
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